VeTek Semiconductor является ведущим производителем материалов для покрытия из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.
Основной продукцией являютсяДефектное кольцо с покрытием из карбида тантала, отводное кольцо с покрытием TaC, детали полумесяца с покрытием TaC, планетарный вращающийся диск с покрытием из карбида тантала (Aixtron G10), тигель с покрытием TaC; Кольца с покрытием TaC; Пористый графит с покрытием TaC; Покрытие из карбида тантала Графитовый токоприемник; Направляющее кольцо с покрытием TaC; Пластина с покрытием из карбида тантала TaC; Токоприемник пластины с покрытием TaC; Кольцо с покрытием TaC; Покрытие TaC Графитовая крышка; Кусок с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.
Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:
Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и устойчивости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.
●Температурная стабильность
●Сверхвысокая чистота
●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si
●Устойчивость к тепловому материалу
●Сильная адгезия к графиту.
●Конформное покрытие
● Размер диаметром до 750 мм(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)
● Датчик индукционного нагрева.
● Резистивный нагревательный элемент
● Тепловой экран
Физические свойства покрытия TaC | |
Плотность | 14,3 (г/см³) |
Удельная излучательная способность | 0.3 |
Коэффициент теплового расширения | 6,3 10-6/К |
Твердость (ГК) | 2000 Гонконг |
Сопротивление | 1×10-5Ом*см |
Термическая стабильность | <2500℃ |
Изменение размера графита | -10~-20ум |
Толщина покрытия | Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
Элемент | Атомный процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средний | |
С К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Их | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor является профессиональным производителем пластин с покрытием TaC и других запасных частей с покрытием TaC в Китае. Покрытие TaC в настоящее время в основном используется в таких процессах, как выращивание монокристаллов карбида кремния (метод PVT), эпитаксиальный диск (включая эпитаксия карбида кремния, светодиодная эпитаксия) и т. д. В сочетании с хорошей долговременной стабильностью пластины с покрытием TaC, VeTek Semiconductor TaC Пластина покрытия стала эталоном запасных частей TaC Coating. Мы надеемся, что вы станете нашим долгосрочным партнером.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является профессиональным производителем эпи-сунсцептора GaN на SiC, покрытия CVD SiC и графитового токоприемника CVD TAC COATING в Китае. Среди них эписуссептор GaN на SiC играет жизненно важную роль в обработке полупроводников. Благодаря своей превосходной теплопроводности, способности к высокотемпературной обработке и химической стабильности он обеспечивает высокую эффективность и качество материала процесса эпитаксиального выращивания GaN. Мы искренне надеемся на вашу дальнейшую консультацию.
Читать далееОтправить запросНоситель покрытия CVD TaC от VeTek Semiconductor в основном предназначен для эпитаксиального процесса производства полупроводников. Сверхвысокая температура плавления носителя покрытия CVD TaC, отличная коррозионная стойкость и выдающаяся термическая стабильность определяют незаменимость этого продукта в процессе эпитаксиальной полупроводниковой эпитаксии. Мы искренне надеемся построить с вами долгосрочные деловые отношения.
Читать далееОтправить запросНаправляющее кольцо с покрытием TaC компании VeTek Semiconductor создается путем нанесения покрытия из карбида тантала на графитовые детали с использованием передовой технологии, называемой химическим осаждением из паровой фазы (CVD). Этот метод хорошо зарекомендовал себя и обеспечивает исключительные свойства покрытия. Используя направляющее кольцо с покрытием TaC, можно значительно продлить срок службы графитовых компонентов, подавить перемещение графитовых примесей и надежно сохранить качество монокристаллов SiC и AIN. Добро пожаловать на запрос к нам.
Читать далееОтправить запросГрафитовый токоприемник с покрытием TaC компании VeTek Semiconductor использует метод химического осаждения из паровой фазы (CVD) для подготовки покрытия из карбида тантала на поверхности графитовых деталей. Этот процесс является наиболее зрелым и имеет лучшие свойства покрытия. Графитовый токоприемник с покрытием TaC может продлить срок службы графитовых компонентов, замедлить миграцию графитовых примесей и обеспечить качество эпитаксии. VeTek Semiconductor с нетерпением ждет вашего запроса.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor представляет датчик с покрытием TaC. Благодаря своему исключительному покрытию TaC этот токоприемник предлагает множество преимуществ, которые отличают его от традиционных решений. Легко интегрируясь в существующие системы, датчик с покрытием TaC от VeTek Semiconductor гарантирует совместимость и эффективную работу. Его надежная работа и высококачественное покрытие TaC неизменно обеспечивают исключительные результаты в процессах эпитаксии SiC. Мы стремимся предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам и надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос