VeTek Semiconductor — ваш инновационный партнер в области обработки полупроводников. Благодаря нашему обширному портфолио комбинаций материалов карбид-кремниевой керамики полупроводникового класса, возможностям производства компонентов и услугам по разработке приложений мы можем помочь вам преодолеть серьезные проблемы. Инженерно-техническая керамика из карбида кремния широко применяется в полупроводниковой промышленности благодаря своим исключительным характеристикам материала. Сверхчистая керамика из карбида кремния VeTek Semiconductor часто используется на протяжении всего цикла производства и обработки полупроводников.
VeTek Semiconductor предлагает компоненты из керамики, специально разработанные для периодической диффузии и требований LPCVD, включая:
• Перегородки и держатели
• Форсунки
• Вкладыши и технологические трубы
• Консольные лопасти из карбида кремния
• Вафельные кораблики и пьедесталы
Консольное весло SiC SiC технологические трубы Технологическая трубка из карбида кремния Вертикальная вафельная лодочка из карбида кремния Горизонтальная вафельная лодочка из карбида кремния SiC Horizontals Quare вафельная лодочка Вафельный кораблик SiC LPCVD Лодка с горизонтальной пластиной SiC Круглая вафельная лодочка из карбида кремния
Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления, включая:
Кольца фокусировки
Насадки
Щиты
Душевые лейки
Окна/крышки
Другие пользовательские компоненты
VeTek Semiconductor предлагает передовые компоненты материалов, предназначенные для применения в высокотемпературной термической обработке в полупроводниковой промышленности. Эти приложения включают процессы RTP, Epi, диффузию, окисление и отжиг. Наша техническая керамика выдерживает термические удары, обеспечивая надежную и стабильную работу. С помощью компонентов VeTek Semiconductor производители полупроводников могут добиться эффективной и высококачественной термической обработки, способствуя общему успеху производства полупроводников.
• Диффузоры
• Изоляторы
• Суцепторы
• Другие специальные тепловые компоненты.
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
Свойство | Типичное значение |
Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
Содержание SiC / SiC | > 99,96% |
Si / Бесплатный контент Si | < 0,1% |
Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
Кажущаяся пористость | < 16% |
Сила сжатия | > 600 МПа |
Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль упругости | 240 ГПа |
Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |
VeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором консольных лопаток из карбида кремния высокой чистоты в Китае. Консольные лопатки из карбида кремния высокой чистоты обычно используются в диффузионных печах для полупроводников в качестве платформ для передачи или загрузки пластин. VeTek Semiconductor стремится предоставлять передовые технологии и решения для полупроводниковой промышленности. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросЯвляясь профессиональным производителем и поставщиком вафельных лодок и подставок с вертикальной колонной в Китае, компания Vetek Semiconductor's изготавливает вафельные лодки и подставки с вертикальной колонной из высокочистых кварцевых или кремний-углеродных керамических материалов (SiC), обладающих превосходной термостойкостью, химической стабильностью и механической прочностью. , и является незаменимым ключевым компонентом в процессе производства полупроводников. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.
Читать далееОтправить запросVetek Semiconductor Contigious Wafer Boat — это современное оборудование для обработки полупроводников. Структура продукта Contigious Wafer Boat тщательно разработана для обеспечения эффективной обработки и производства прецизионных пластин. Vetek Semiconductor стремится предоставлять отличные технологии и решения для полупроводниковой промышленности. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является профессиональным китайским производителем кремниевых пластин на изоляторе, планетарных оснований ALD и графитовых оснований с покрытием TaC. Пластина кремния на изоляторе VeTek Semiconductor является важным материалом полупроводниковой подложки, а ее превосходные характеристики продукта позволяют ей играть ключевую роль в высокопроизводительных, маломощных, высокоинтегральных и радиочастотных приложениях. Мы надеемся на дальнейшее сотрудничество с вами.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком направляющих колец с покрытием TaC, горизонтального держателя пластин SiC и токоприемников с покрытием SiC в Китае. Мы стремимся предоставлять безупречную техническую поддержку и лучшие решения для полупроводниковой промышленности. Добро пожаловать, свяжитесь с нами.
Читать далееОтправить запросSiC Wafer Boat от VeTek Semiconductor — это продукт с очень высокими характеристиками. Наши SiC Wafer Boat обычно используются в диффузионных печах для окисления полупроводников, чтобы обеспечить равномерное распределение температуры по пластине и улучшить качество обработки кремниевых пластин. Высокая температурная стабильность и высокая теплопроводность материалов SiC обеспечивают эффективную и надежную обработку полупроводников. Мы стремимся предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам и надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос