VeTek Semiconductor является ведущим производителем материалов для покрытия из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.
Основной продукцией являютсяДефектное кольцо с покрытием из карбида тантала, отводное кольцо с покрытием TaC, детали полумесяца с покрытием TaC, планетарный вращающийся диск с покрытием из карбида тантала (Aixtron G10), тигель с покрытием TaC; Кольца с покрытием TaC; Пористый графит с покрытием TaC; Покрытие из карбида тантала Графитовый токоприемник; Направляющее кольцо с покрытием TaC; Пластина с покрытием из карбида тантала TaC; Токоприемник пластины с покрытием TaC; Кольцо с покрытием TaC; Покрытие TaC Графитовая крышка; Кусок с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.
Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:
Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и устойчивости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.
●Температурная стабильность
●Сверхвысокая чистота
●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si
●Устойчивость к тепловому материалу
●Сильная адгезия к графиту.
●Конформное покрытие
● Размер диаметром до 750 мм(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)
● Датчик индукционного нагрева.
● Резистивный нагревательный элемент
● Тепловой экран
Физические свойства покрытия TaC | |
Плотность | 14,3 (г/см³) |
Удельная излучательная способность | 0.3 |
Коэффициент теплового расширения | 6,3 10-6/К |
Твердость (ГК) | 2000 Гонконг |
Сопротивление | 1×10-5Ом*см |
Термическая стабильность | <2500℃ |
Изменение размера графита | -10~-20ум |
Толщина покрытия | Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
Элемент | Атомный процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средний | |
С К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Их | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Кольцо с CVD-покрытием TaC компании VeTek Semiconductor представляет собой весьма выгодный компонент, разработанный для удовлетворения строгих требований процессов выращивания кристаллов карбида кремния (SiC). Кольцо с покрытием CVD TaC обеспечивает исключительную устойчивость к высоким температурам и химическую инертность, что делает его идеальным выбором для сред, характеризующихся повышенными температурами и агрессивными условиями. Мы стремимся предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам и надеемся стать вашим долгосрочным партнером. в Китае.
Читать далееОтправить запросLPE SiC Epi Halfmoon от VeTek Semiconductor, революционный продукт, разработанный для улучшения процессов эпитаксии SiC в реакторе LPE. Это передовое решение может похвастаться несколькими ключевыми функциями, которые обеспечивают превосходную производительность и эффективность ваших производственных операций. Надеемся на долгосрочное сотрудничество с вами.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является ведущим поставщиком покрытий TaC и графитовых деталей с покрытием SiC. Мы специализируемся на производстве новейших светодиодных EPI-приемников, необходимых для процессов светодиодной эпитаксии. Уделяя особое внимание инновациям и качеству, мы предлагаем надежные решения, отвечающие строгим требованиям светодиодной промышленности. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы обсудить ваши вопросы и узнать, как наша продукция может улучшить ваши производственные процессы.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor — комплексный поставщик, занимающийся исследованиями, разработками, производством, проектированием и продажей покрытий TaC и деталей с покрытием SiC. Наш опыт заключается в производстве современных токопроводителей MOCVD с покрытием TaC, которые играют жизненно важную роль в процессе эпитаксии светодиодов. Мы приветствуем вас, чтобы обсудить с нами вопросы и дополнительную информацию.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor — интегрированный поставщик, занимающийся исследованиями и разработками, производством, проектированием и продажей покрытий TaC. Мы специализируемся на производстве ультрасовременных УФ-светодиодных датчиков с покрытием TaC, которые являются важнейшими компонентами процесса эпитаксии светодиодов. Наши светодиодные датчики глубокого УФ-излучения с покрытием TaC обеспечивают высокую теплопроводность, высокую механическую прочность, повышенную эффективность производства и эпитаксиальную защиту пластин. Добро пожаловать на запрос к нам.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является ведущим производителем и поставщиком полумесяца из карбида тантала с покрытием TaC в Китае. Мы специализируемся на исследованиях, разработках и производстве, можем хорошо контролировать качество и предлагать конкурентоспособные цены. Приглашаем Вас посетить нашу фабрику для дальнейшего обсуждения долгосрочного сотрудничества.
Читать далееОтправить запрос