Запасная часть покрытия TaC

ВеТек ПолупроводникПластина покрытия TaCспециальный материал, широко используемый вполупроводникпроизводственный процесс. В сочетании с высокой твердостью и износостойкостью, устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, низким коэффициентом трения и хорошей теплопроводностью пластина покрытия TaC играет незаменимую роль во многих звеньях обработки полупроводников.

Как правило, приложенияПластины с покрытием TaCв обработке полупроводников следующие:

Субстрат для роста CVD/ALD: Высокая термостойкость, химическая стабильность и низкий коэффициент трения пластин с покрытием TaC делают их идеальными субстратами для выращивания CVD/ALD. Он может обеспечить стабильную среду роста, чтобы гарантировать однородность и плотность пленки.

Пластина с маской травления: Высокая твердость и коррозионная стойкость пластин с покрытием TaC позволяют им выдерживать высокоэнергетические процессы, такие как плазменное травление, травление маскирующих пластин, защищая нижележащую пленку.

Полировальная подушечка CMP: Износостойкость и низкий коэффициент трения пластин с покрытием TaC делают их идеальными материалами для полировальных подушечек CMP, которые могут эффективно удалять частицы и дефекты с поверхности пленки.

Высокотемпературная печная труба: Высокая термостойкость и коррозионная стойкость пластин с покрытием TaC позволяют использовать их в качестве труб в высокотемпературных печах для высокотемпературного отжига, диффузии и других процессов.

В сочетании с характеристиками продуктаПластина покрытия TaC, он определяет, что этот продукт играет незаменимую ключевую роль в улучшении производительности устройства, продлении срока службы оборудования и повышении эффективности производства. 

Как профессиональный производительGaN на эпиакцепторе SiC, Пористый графитиПластина покрытия TaCВ Китае VeTek Semiconductor всегда настаивает на предоставлении индивидуальных услуг по продуктам и стремится предоставлять отрасли передовые технологии и продуктовые решения. Мы искренне надеемся на вашу дальнейшую консультацию.

Технические параметры CVD TAC ПОКРЫТИЯ：

Магазины запчастей TaC Coating：

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов：