Материалом эпитаксиального слоя карбида кремния является карбид кремния, который обычно используется для изготовления мощных электронных устройств и светодиодов. Он широко используется в полупроводниковой промышленности благодаря своей превосходной термической стабильности, механической прочности и высокой электропроводности.
Высокая чистота: эпитаксиальный слой кремния, выращенный методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), имеет чрезвычайно высокую чистоту, лучшую плоскостность поверхности и меньшую плотность дефектов, чем традиционные пластины.
Твердый карбид кремния обладает превосходными свойствами, такими как высокая температурная стабильность, высокая твердость, хорошая стойкость к истиранию и хорошая химическая стабильность, поэтому он имеет широкий спектр применения. Ниже приведены некоторые применения твердого карбида кремния: