Дом > Продукты > Покрытие из карбида тантала

Китай Покрытие из карбида тантала Производитель,Поставщик,Завод

VeTek Semiconductor является ведущим производителем материалов для покрытия из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.


Основной продукцией являютсяДефектное кольцо с покрытием из карбида тантала, отводное кольцо с покрытием TaC, детали полумесяца с покрытием TaC, планетарный вращающийся диск с покрытием из карбида тантала (Aixtron G10), тигель с покрытием TaC; Кольца с покрытием TaC; Пористый графит с покрытием TaC; Покрытие из карбида тантала Графитовый токоприемник; Направляющее кольцо с покрытием TaC; Пластина с покрытием из карбида тантала TaC; Токоприемник пластины с покрытием TaC; Кольцо с покрытием TaC; Покрытие TaC Графитовая крышка; Кусок с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.


Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:


Excellent properties of TaC coating graphite


Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и устойчивости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.


Ключевые особенности:

 ●Температурная стабильность

 ●Сверхвысокая чистота

 ●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si

 ●Устойчивость к тепловому материалу

 ●Сильная адгезия к графиту.

 ●Конформное покрытие

 Размер диаметром до 750 мм(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)


Приложения:

 ●Вафельный носитель

 ● Датчик индукционного нагрева.

 ● Резистивный нагревательный элемент

 ●Спутниковый диск

 ●Душевая лейка

 ●Направляющее кольцо

 ●Светодиодный эпиприемник

 ●Инъекционное сопло

 ●Маскирующее кольцо

 ● Тепловой экран


Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Физические свойства покрытия TaC
Плотность 14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность 0.3
Коэффициент теплового расширения 6,3 10-6
Твердость (ГК) 2000 Гонконг
Сопротивление 1×10-5Ом*см
Термическая стабильность <2500℃
Изменение размера графита -10~-20ум
Толщина покрытия Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)


Покрытие TaC, данные EDX

EDX data of TaC coating


Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Элемент Атомный процент
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Средний
С К 52.10 57.41 52.37 53.96
Их 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Кольцо с покрытием из карбида тантала

Кольцо с покрытием из карбида тантала

Являясь профессиональным новатором и лидером в производстве колец с покрытием из карбида тантала в Китае, полупроводниковое кольцо VeTek с покрытием из карбида тантала играет незаменимую роль в выращивании кристаллов SiC благодаря своей превосходной стойкости к высоким температурам, износостойкости и превосходной теплопроводности. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.

Читать далееОтправить запрос
Пористый карбид тантала

Пористый карбид тантала

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и лидером продукции из пористого карбида тантала в Китае. Пористый карбид тантала обычно изготавливается методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), что обеспечивает точный контроль размера и распределения его пор, и является инструментом, предназначенным для работы в экстремальных условиях с высокими температурами. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.

Читать далееОтправить запрос
Кольцо из карбида тантала

Кольцо из карбида тантала

Являясь передовым производителем и производителем изделий из карбида тантала в Китае, компания VeTek Semiconductor Tantal Carbide Ring обладает чрезвычайно высокой твердостью, износостойкостью, устойчивостью к высоким температурам и химической стабильностью и широко используется в области производства полупроводников. Он является незаменимым продуктом для обработки и производства полупроводников, особенно в процессах CVD, PVD, ионной имплантации, процесса травления, а также обработки и транспортировки пластин. Ждём вашей дальнейшей консультации.

Читать далееОтправить запрос
Поддержка покрытия из карбида тантала

Поддержка покрытия из карбида тантала

Как профессиональный производитель и завод в Китае, компания VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating Support обычно используется для поверхностного покрытия структурных компонентов или опорных компонентов в полупроводниковом оборудовании, особенно для защиты поверхности ключевых компонентов оборудования в процессах производства полупроводников, таких как ССД и ПВД. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.

Читать далееОтправить запрос
Направляющее кольцо из карбида тантала

Направляющее кольцо из карбида тантала

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и лидером в производстве направляющих колец из карбида тантала в Китае. Наше направляющее кольцо из карбида тантала (TaC) представляет собой высокопроизводительный кольцевой компонент, изготовленный из карбида тантала, который обычно используется в оборудовании для обработки полупроводников, особенно в высокотемпературных и сильно агрессивных средах, таких как CVD, PVD, травление и диффузия. VeTek Semiconductor стремится предоставлять передовые технологии и решения для полупроводниковой промышленности и приветствует ваши дальнейшие запросы.

Читать далееОтправить запрос
Датчик вращения покрытия TaC

Датчик вращения покрытия TaC

Как профессиональный производитель, новатор и лидер в области датчиков вращения покрытия TaC в Китае. Датчик вращения покрытия VeTek Semiconductor TaC обычно устанавливается в оборудовании для химического осаждения из паровой фазы (CVD) и молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE) для поддержки и вращения пластин для обеспечения равномерного осаждения материала и эффективной реакции. Это ключевой компонент в обработке полупроводников. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.

Читать далееОтправить запрос
Являясь профессиональным производителем и поставщиком Покрытие из карбида тантала в Китае, мы располагаем собственным заводом. Если вам нужны индивидуальные услуги, отвечающие конкретным потребностям вашего региона, или вы хотите купить передовые и надежные Покрытие из карбида тантала, произведенные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept