VeTek Semiconductor ICPPSS (очистка фоторезиста с индуктивно связанной плазмой) для процесса травления. Носитель пластины специально разработан для удовлетворения строгих требований процессов травления полупроводниковой промышленности. Благодаря своим расширенным функциям он обеспечивает оптимальную производительность, эффективность и надежность на протяжении всего процесса травления.
Повышенная химическая совместимость. Носитель пластины изготовлен из материалов, которые демонстрируют превосходную химическую совместимость с химическими составами процесса травления. Это обеспечивает совместимость с широким спектром травителей, средств для снятия резиста и чистящих растворов, сводя к минимуму риск химических реакций или загрязнения.
Устойчивость к высоким температурам: держатель пластины разработан так, чтобы выдерживать высокие температуры, возникающие в процессе травления. Он сохраняет структурную целостность и механическую прочность, предотвращая деформацию или повреждение даже в экстремальных температурных условиях.
Превосходная однородность травления: держатель имеет тщательно продуманную конструкцию, которая способствует равномерному распределению травителей и газов по поверхности пластины. Это приводит к стабильной скорости травления и высококачественным однородным рисункам, что необходимо для достижения точных и надежных результатов травления.
Превосходная стабильность пластины: держатель оснащен надежным механизмом фиксации пластины, который обеспечивает стабильное позиционирование и предотвращает перемещение или проскальзывание пластины во время процесса травления. Это гарантирует точные и повторяемые рисунки травления, сводя к минимуму дефекты и потери производительности.
Совместимость с чистыми помещениями: держатель пластин разработан с учетом строгих стандартов чистых помещений. Он отличается низким образованием частиц и превосходной чистотой, предотвращая любое загрязнение частицами, которое может поставить под угрозу качество и производительность процесса травления. Содержание примесей составляет менее 5 частей на миллион.
Прочная и долговечная конструкция: багажник изготовлен с использованием высококачественных материалов, известных своей прочностью и длительным сроком службы. Он может выдерживать многократное использование и строгие процессы очистки без ущерба для своих характеристик или структурной целостности.
Настраиваемый дизайн: мы предлагаем настраиваемые варианты для удовлетворения конкретных требований клиентов. Носитель можно адаптировать к пластинам разных размеров, толщины и характеристик процесса, обеспечивая совместимость с различным оборудованием и процессами травления.
Оцените надежность и производительность нашего держателя пластин для процесса травления ICP/PSS, разработанного для оптимизации процесса травления в полупроводниковой промышленности. Его улучшенная химическая совместимость, устойчивость к высоким температурам, превосходная однородность травления, превосходная стабильность пластин, совместимость с чистыми помещениями, прочная конструкция и настраиваемый дизайн делают его идеальным выбором для ваших задач травления.
Травильная пластина PSS Травильная пластина ICP Датчик травления ICP
Держатель для травления ICP с покрытием SiC от VeTek Semiconductor разработан для наиболее требовательных применений эпитаксионного оборудования. Изготовленный из высококачественного сверхчистого графита, наш держатель для травления ICP с покрытием SiC имеет очень плоскую поверхность и отличную коррозионную стойкость, что позволяет выдерживать суровые условия во время работы. Высокая теплопроводность носителя с покрытием SiC обеспечивает равномерное распределение тепла и отличные результаты травления. VeTek Semiconductor надеется на установление долгосрочного партнерства с вами.
Читать далееОтправить запросНесущая пластина PSS для травления полупроводников от VeTek Semiconductor представляет собой высококачественный носитель сверхчистого графита, предназначенный для процессов обработки пластин. Наши носители обладают превосходными характеристиками и могут хорошо работать в суровых условиях, при высоких температурах и в суровых условиях химической очистки. Наша продукция широко используется на многих рынках Европы и Америки, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос