VeTek Semiconductor является ведущим производителем материалов для покрытия из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.
Основной продукцией являютсяДефектное кольцо с покрытием из карбида тантала, отводное кольцо с покрытием TaC, детали полумесяца с покрытием TaC, планетарный вращающийся диск с покрытием из карбида тантала (Aixtron G10), тигель с покрытием TaC; Кольца с покрытием TaC; Пористый графит с покрытием TaC; Покрытие из карбида тантала Графитовый токоприемник; Направляющее кольцо с покрытием TaC; Пластина с покрытием из карбида тантала TaC; Токоприемник пластины с покрытием TaC; Кольцо с покрытием TaC; Покрытие TaC Графитовая крышка; Кусок с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.
Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:
Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и устойчивости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.
●Температурная стабильность
●Сверхвысокая чистота
●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si
●Устойчивость к тепловому материалу
●Сильная адгезия к графиту.
●Конформное покрытие
● Размер диаметром до 750 мм(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)
● Датчик индукционного нагрева.
● Резистивный нагревательный элемент
● Тепловой экран
Физические свойства покрытия TaC | |
Плотность | 14,3 (г/см³) |
Удельная излучательная способность | 0.3 |
Коэффициент теплового расширения | 6,3 10-6/К |
Твердость (ГК) | 2000 Гонконг |
Сопротивление | 1×10-5Ом*см |
Термическая стабильность | <2500℃ |
Изменение размера графита | -10~-20ум |
Толщина покрытия | Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
Элемент | Атомный процент | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средний | |
С К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Их | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором направляющих колец с покрытием TaC в Китае. Мы уже много лет специализируемся на керамических покрытиях. Направляющие кольца с покрытием TaC в основном используются для направления и контроля воздушного потока, повышая производительность роста монокристаллов. Добро пожаловать к нам для получения дополнительной информации.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором планетарных вращающихся дисков с покрытием из карбида тантала в Китае. Мы уже много лет специализируемся на керамических покрытиях. Наша продукция отличается высокой чистотой и устойчивостью к высоким температурам. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в области Китай.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором графитовых держателей пластин с покрытием TaC в Китае. Мы уже много лет специализируемся на покрытиях SiC и TaC. Наши держатели графитовых пластин с покрытием TaC обладают более высокой термостойкостью и износостойкостью. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос