Печи окисления и диффузии используются в различных областях, таких как полупроводниковые устройства, дискретные устройства, оптоэлектронные устройства, силовые электронные устройства, солнечные элементы и производство крупномасштабных интегральных схем. Они используются для таких процессов, как диффузия, окисление, отжиг, легирование и спекание пластин.
VeTek Semiconductor — ведущий производитель, специализирующийся на производстве компонентов из графита, карбида кремния и кварца высокой чистоты в окислительных и диффузионных печах. Мы стремимся поставлять высококачественные компоненты печей для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности и находимся на переднем крае технологий нанесения покрытий на поверхность, таких как CVD-SiC, CVD-TaC, пироуглерод и т. д.
Высокая термостойкость (до 1600 ℃)
Отличная теплопроводность и термическая стабильность.
Хорошая стойкость к химической коррозии
Низкий коэффициент теплового расширения
Высокая прочность и твердость
Длительный срок службы
В печах окисления и диффузии из-за присутствия высокой температуры и агрессивных газов многие компоненты требуют использования жаропрочных и коррозионностойких материалов, среди которых обычно используется карбид кремния (SiC). Ниже приведены распространенные компоненты карбида кремния, используемые в окислительных и диффузионных печах:
Вафельная Лодочка
Лодочка для пластин из карбида кремния — это контейнер, используемый для перевозки кремниевых пластин, который выдерживает высокие температуры и не вступает в реакцию с кремниевыми пластинами.
Печная трубка
Печная труба является основным компонентом диффузионной печи, используемой для размещения кремниевых пластин и контроля реакционной среды. Печные трубы из карбида кремния обладают превосходными характеристиками устойчивости к высоким температурам и коррозии.
Перегородка
Используется для регулирования потока воздуха и распределения температуры внутри печи.
Защитная трубка термопары
Используется для защиты термопар, измеряющих температуру, от прямого контакта с агрессивными газами.
Консольное весло
Консольные лопасти из карбида кремния устойчивы к высоким температурам и коррозии и используются для транспортировки кремниевых или кварцевых лодочек, несущих кремниевые пластины, в трубы диффузионной печи.
Газовый инжектор
Используемый для подачи реакционного газа в печь, он должен быть устойчивым к высоким температурам и коррозии.
Перевозчик лодок
Лодочный держатель для пластин из карбида кремния используется для фиксации и поддержки кремниевых пластин, которые обладают такими преимуществами, как высокая прочность, коррозионная стойкость и хорошая структурная стабильность.
Дверца печи
Покрытия или компоненты из карбида кремния также могут быть использованы на внутренней стороне дверцы печи.
Нагревательный элемент
Нагревательные элементы из карбида кремния подходят для высоких температур, высокой мощности и могут быстро поднимать температуру до более чем 1000 ℃.
SiC-лайнер
Используемый для защиты внутренней стенки печных труб, он может помочь уменьшить потери тепловой энергии и выдерживать суровые условия, такие как высокая температура и высокое давление.
VeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором консольных лопаток из карбида кремния высокой чистоты в Китае. Консольные лопатки из карбида кремния высокой чистоты обычно используются в диффузионных печах для полупроводников в качестве платформ для передачи или загрузки пластин. VeTek Semiconductor стремится предоставлять передовые технологии и решения для полупроводниковой промышленности. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросЯвляясь профессиональным производителем и поставщиком вафельных лодок и подставок с вертикальной колонной в Китае, компания Vetek Semiconductor's изготавливает вафельные лодки и подставки с вертикальной колонной из высокочистых кварцевых или кремний-углеродных керамических материалов (SiC), обладающих превосходной термостойкостью, химической стабильностью и механической прочностью. , и является незаменимым ключевым компонентом в процессе производства полупроводников. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.
Читать далееОтправить запросVetek Semiconductor Contigious Wafer Boat — это современное оборудование для обработки полупроводников. Структура продукта Contigious Wafer Boat тщательно разработана для обеспечения эффективной обработки и производства прецизионных пластин. Vetek Semiconductor стремится предоставлять отличные технологии и решения для полупроводниковой промышленности. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком направляющих колец с покрытием TaC, горизонтального держателя пластин SiC и токоприемников с покрытием SiC в Китае. Мы стремимся предоставлять безупречную техническую поддержку и лучшие решения для полупроводниковой промышленности. Добро пожаловать, свяжитесь с нами.
Читать далееОтправить запросSiC Wafer Boat от VeTek Semiconductor — это продукт с очень высокими характеристиками. Наши SiC Wafer Boat обычно используются в диффузионных печах для окисления полупроводников, чтобы обеспечить равномерное распределение температуры по пластине и улучшить качество обработки кремниевых пластин. Высокая температурная стабильность и высокая теплопроводность материалов SiC обеспечивают эффективную и надежную обработку полупроводников. Мы стремимся предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам и надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor предлагает высокопроизводительные технологические трубки SiC для производства полупроводников. Наши технологические трубы SiC превосходно справляются с процессами окисления и диффузии. Благодаря превосходному качеству и мастерству изготовления эти трубки обладают высокотемпературной стабильностью и теплопроводностью, что позволяет эффективно обрабатывать полупроводники. Мы предлагаем конкурентоспособные цены и стремимся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос