- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
Китай Покрытие из карбида тантала Производитель,Поставщик,Завод
VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.
Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.
Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:
Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.
Ключевые особенности:
●Температурная стабильность
●Сверхвысокая чистота
●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si
●Устойчивость к тепловому материалу
●Сильная адгезия к графиту
●Конформное покрытие покрытия
● Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)
Приложения:
● Датчик индукционного нагрева.
● Резистивный нагревательный элемент
● Тепловой экран
Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:
Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:
| Физические свойства покрытия TaC | |
| Плотность | 14,3 (г/см³) |
| Удельная излучательная способность | 0.3 |
| Коэффициент теплового расширения | 6,3 10-6/К |
| Твердость (ГК) | 2000 Гонконг |
| Сопротивление | 1×10-5Ом*см |
| Термическая стабильность | <2500℃ |
| Изменение размера графита | -10~-20ум |
| Толщина покрытия | Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
Покрытие TaC, данные EDX：
Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:
| Элемент | Атомный процент | |||
| Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Средний | |
| С К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Их | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
- View as
Направляющее кольцо с покрытием TaC
Направляющее кольцо с покрытием TaC изготовлено из высококачественного графита и покрыто TaC. При приготовлении кристаллов SiC методом PVT направляющее кольцо VeTek Semiconductor с покрытием TaC в основном используется для направления и контроля воздушного потока, оптимизации процесса выращивания монокристаллов и повышения выхода монокристаллов. Благодаря превосходной технологии покрытия TaC наша продукция обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозии и хорошими механическими свойствами. Мы искренне приветствуем вашу консультацию и с нетерпением ждем возможности предоставить вам более подробную информацию о продукте и техническую поддержку.
Читать далееОтправить запрос
Планетарный вращающийся диск с покрытием из карбида тантала
VeTek Semiconductor является ведущим производителем и поставщиком планетарных вращающихся дисков с покрытием из карбида тантала в Китае, уже много лет специализируясь на технологии покрытия TaC. Наша продукция отличается высокой чистотой и превосходной устойчивостью к высоким температурам, что широко признано производителями полупроводников. Планетарный вращающийся диск VeTek Semiconductor с покрытием из карбида тантала стал основой индустрии эпитаксии пластин. Мы надеемся на установление долгосрочного партнерства с вами для совместного продвижения технологического прогресса и оптимизации производства.
Читать далееОтправить запрос
Носитель графитовых пластин с покрытием TaC
Компания VeTek Semiconductor тщательно разработала для клиентов носитель графитовой пластины с покрытием TaC. Он состоит из графита высокой чистоты и покрытия TaC, которое подходит для различных эпитаксиальных обработок пластин. Мы уже много лет специализируемся на покрытиях SiC и TaC. По сравнению с покрытием SiC, наш графитовый носитель с покрытием TaC обладает более высокой термостойкостью и износостойкостью. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос
Являясь профессиональным производителем и поставщиком Покрытие из карбида тантала в Китае, мы располагаем собственным заводом. Если вам нужны индивидуальные услуги, отвечающие конкретным потребностям вашего региона, или вы хотите купить передовые и надежные Покрытие из карбида тантала, произведенные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
