Опорная пластина основания с покрытием TaC

VeTek Semiconductor - китайский производитель и поставщик, который в основном производит токоприемники с покрытием CVD TaC, входное кольцо, пластину, держатель с покрытием TaC, опорную пластину с покрытием TaC с многолетним опытом. Надеюсь построить деловые отношения с вами.

Керамика TaC имеет температуру плавления до 3880 ℃, высокую твердость (твердость по Моосу 9 ~ 10), большую теплопроводность (22 Вт·м-1 · К-1), большую прочность на изгиб (340 ~ 400 МПа) и небольшое тепловое расширение. коэффициент (6,6×10-6К-1) и демонстрирует превосходную термохимическую стабильность и отличные физические свойства. Он имеет хорошую химическую и механическую совместимость с графитом и композитными материалами C/C, поэтому покрытие TaC широко используется в аэрокосмической тепловой защите, выращивании монокристаллов и эпитаксиальных реакторах, таких как Aixtron, реактор LPE EPI в полупроводниковой промышленности. Графит с покрытием TaC обладает лучшей стойкостью к химической коррозии, чем чернила из чистого камня или графит с покрытием SiC, может стабильно использоваться при высокой температуре 2200 °, не вступает в реакцию со многими металлическими элементами, является третьим поколением полупроводниковых монокристаллов для выращивания, эпитаксии и травления пластин. покрытия с лучшими характеристиками, может значительно улучшить процесс контроля температуры и примесей, подготовки высококачественных пластин карбида кремния и связанных с ними эпитаксиальных пластин. Он особенно подходит для выращивания монокристаллов GaN или AlN в оборудовании MOCVD и монокристалла SiC в оборудовании PVT, при этом качество выращенного монокристалла явно улучшается.

Покрытие TaC и покрытие SiC. Запасные части, которые мы можем изготовить:

Параметр покрытия TaC:

Производственная цепочка:

Производственный цех