VeTek Semiconductor специализируется на производстве продуктов с покрытиями из сверхчистого карбида кремния. Эти покрытия предназначены для нанесения на очищенный графит, керамику и компоненты из тугоплавких металлов.
Наши покрытия высокой чистоты в первую очередь предназначены для использования в полупроводниковой и электронной промышленности. Они служат защитным слоем для подложек, токоприемников и нагревательных элементов, защищая их от агрессивных и реактивных сред, возникающих в таких процессах, как MOCVD и EPI. Эти процессы являются неотъемлемой частью обработки пластин и производства устройств. Кроме того, наши покрытия хорошо подходят для применения в вакуумных печах и нагревании образцов, где встречаются условия высокого вакуума, реактивной среды и кислорода.
В VeTek Semiconductor мы предлагаем комплексное решение с использованием наших передовых возможностей механического цеха. Это позволяет нам производить базовые компоненты с использованием графита, керамики или тугоплавких металлов и наносить керамические покрытия SiC или TaC собственными силами. Мы также предоставляем услуги по нанесению покрытий на детали, поставляемые заказчиком, обеспечивая гибкость для удовлетворения разнообразных потребностей.
Наши продукты с покрытием из карбида кремния широко используются в эпитаксии Si, эпитаксии SiC, системе MOCVD, процессе RTP/RTA, процессе травления, процессе травления ICP/PSS, процессах различных типов светодиодов, включая синие и зеленые светодиоды, ультрафиолетовые светодиоды и глубокие ультрафиолетовые лучи. Светодиод и т. д., адаптированный к оборудованию LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и так далее.
Основные физические свойства покрытия CVD SiC | |
Свойство | Типичное значение |
Кристаллическая структура | FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная |
Плотность | 3,21 г/см³ |
Твердость | Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г) |
Размер зерна | 2~10 мкм |
Химическая чистота | 99,99995% |
Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
Температура сублимации | 2700℃ |
изгибная прочность | 415 МПа РТ 4-точечный |
Модуль Юнга | Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃ |
Теплопроводность | 300Вт·м-1·К-1 |
Тепловое расширение (КТР) | 4,5×10-6К-1 |
Держатель для травления ICP с покрытием SiC от VeTek Semiconductor разработан для наиболее требовательных применений эпитаксионного оборудования. Изготовленный из высококачественного сверхчистого графита, наш держатель для травления ICP с покрытием SiC имеет очень плоскую поверхность и отличную коррозионную стойкость, что позволяет выдерживать суровые условия во время работы. Высокая теплопроводность носителя с покрытием SiC обеспечивает равномерное распределение тепла и отличные результаты травления. VeTek Semiconductor надеется на установление долгосрочного партнерства с вами.
Читать далееОтправить запросНесущая пластина PSS для травления полупроводников от VeTek Semiconductor представляет собой высококачественный носитель сверхчистого графита, предназначенный для процессов обработки пластин. Наши носители обладают превосходными характеристиками и могут хорошо работать в суровых условиях, при высоких температурах и в суровых условиях химической очистки. Наша продукция широко используется на многих рынках Европы и Америки, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором датчиков для быстрого термического отжига в Китае. Мы уже много лет специализируемся на материалах покрытия SiC. Мы предлагаем датчик для быстрого термического отжига высокого качества, устойчивый к высоким температурам и сверхтонкий. Мы приглашаем вас посетить наш завод в Китае.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor — профессиональный производитель и поставщик, специализирующийся на поставке высококачественных эпитаксиальных токоприемников GaN на основе кремния. Полупроводниковый токопроводник используется в системе VEECO K465i GaN MOCVD, имеет высокую чистоту, высокую термостойкость, коррозионную стойкость, добро пожаловать, чтобы узнать и сотрудничать с нами!
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором 8-дюймовой полумесяца для реактора LPE в Китае. Мы уже много лет специализируемся на материалах покрытия SiC. Мы предлагаем 8-дюймовую полумесяц для реактора LPE, разработанную специально для эпитаксионного реактора LPE SiC. Эта полукруглая деталь — универсальное и эффективное решение для производства полупроводников, обладающее оптимальными размерами, совместимостью и высокой производительностью. Мы приглашаем вас посетить наш завод в Китае.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором блинчатых токоприемников с SiC-покрытием для 6-дюймовых пластин LPE PE3061S в Китае. Мы уже много лет специализируемся на материалах покрытия SiC. Мы предлагаем блинные токоприемники с SiC-покрытием, разработанные специально для 6-дюймовых пластин LPE PE3061S. . Этот эпитаксиальный токоприемник отличается высокой коррозионной стойкостью, хорошей теплопроводностью, хорошей однородностью. Мы приглашаем вас посетить наш завод в Китае.
Читать далееОтправить запрос