Дом > Продукты > Покрытие из карбида кремния > Процесс травления ICP/PSS > Несущая пластина для травления PSS для полупроводников
Несущая пластина для травления PSS для полупроводников
  • Несущая пластина для травления PSS для полупроводниковНесущая пластина для травления PSS для полупроводников
  • Несущая пластина для травления PSS для полупроводниковНесущая пластина для травления PSS для полупроводников

Несущая пластина для травления PSS для полупроводников

Несущая пластина PSS для травления полупроводников от VeTek Semiconductor представляет собой высококачественный носитель сверхчистого графита, предназначенный для процессов обработки пластин. Наши носители обладают превосходными характеристиками и могут хорошо работать в суровых условиях, при высоких температурах и в суровых условиях химической очистки. Наша продукция широко используется на многих рынках Европы и Америки, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Как профессиональный производитель, мы хотели бы предоставить вам высококачественную опорную пластину для травления PSS для полупроводников. Несущая пластина PSS для травления полупроводников от VeTek Semiconductor — это специализированный компонент, используемый в полупроводниковой промышленности для процесса травления спектроскопии плазменного источника (PSS). Эта пластина играет решающую роль в поддержке и переносе полупроводниковых пластин во время процесса травления. Добро пожаловать к нам!


Ключевая особенность:

Точная конструкция: несущая пластина имеет точные размеры и ровную поверхность, что обеспечивает равномерное и последовательное травление полупроводниковых пластин. Он обеспечивает стабильную и контролируемую платформу для пластин, обеспечивая точные и надежные результаты травления.

Плазмостойкость: Несущая пластина демонстрирует превосходную устойчивость к плазме, используемой в процессе травления. На него не влияют химически активные газы и высокоэнергетическая плазма, что обеспечивает длительный срок службы и стабильную производительность.

Теплопроводность: Несущая пластина обладает высокой теплопроводностью, что позволяет эффективно рассеивать тепло, выделяемое в процессе травления. Это помогает поддерживать оптимальный контроль температуры и предотвращает перегрев полупроводниковых пластин.

Совместимость: Несущая пластина для травления PSS разработана с учетом совместимости с полупроводниковыми пластинами различных размеров, обычно используемых в промышленности, что обеспечивает универсальность и простоту использования в различных производственных процессах.


Параметры продукта травильной несущей пластины PSS для полупроводников

Основные физические свойства покрытия CVD SiC
Свойство Типичное значение
Кристальная структура FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная
Плотность 3,21 г/см³
Твердость Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г)
Размер зерна 2~10 мкм
Химическая чистота 99,99995%
Теплоемкость 640 Дж·кг-1·К-1
Температура сублимации 2700℃
Предел прочности при изгибе 415 МПа РТ 4-точечный
Модуль для младших Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃
Теплопроводность 300Вт·м-1·К-1
Тепловое расширение (КТР) 4,5×10-6К-1


Цех полупроводникового производства ВеТек


Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов:


Горячие Теги: Несущая пластина для травления PSS для полупроводников, Китай, Производитель, Поставщик, Фабрика, Индивидуальная, Купить, Усовершенствованная, Прочная, Сделано в Китае
Связанная категория
Отправить запрос
Пожалуйста, не стесняйтесь дать свой запрос в форме ниже. Мы ответим вам в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept