Носитель для травления ICP с карбидом кремния

Имея многолетний опыт производства носителей для травления ICP с покрытием SiC, VeTek Semiconductor может поставлять широкий ассортиментс покрытием SiCилис покрытием TaCзапасные части для полупроводниковой промышленности. В дополнение к приведенному ниже списку продуктов вы также можете изготовить свои собственные уникальные детали с покрытием SiC или TaC в соответствии с вашими конкретными потребностями. Добро пожаловать к нам.

Носители ICP-травления VeTek Semiconductor с SiC-покрытием, также известные как носители ICP, носители PSS, носители RTP или носители RTP, являются важными компонентами, используемыми в различных приложениях в полупроводниковой промышленности. Графит с покрытием из карбида кремния является основным материалом, используемым для изготовления этих носителей тока. Он имеет высокую теплопроводность, более чем в 10 раз превышающую теплопроводность сапфировой подложки. Это свойство в сочетании с высокой напряженностью электрического поля роликов и максимальной плотностью тока побудило к исследованию карбида кремния в качестве потенциальной замены кремния в различных областях применения, особенно в полупроводниковых компонентах высокой мощности. Пластины токопроводящих элементов SiC обладают высокой теплопроводностью, что делает их идеальными дляПроцессы производства светодиодов. 

Они обеспечивают эффективный отвод тепла и обеспечивают отличную электропроводность, что способствует производству светодиодов высокой мощности. Кроме того, эти несущие пластины обладают превосходнымиплазменное сопротивлениеи длительный срок службы, обеспечивающий надежную работу и срок службы в требовательных условиях производства полупроводников.