VeTek Semiconductor специализируется на производстве продуктов с покрытиями из сверхчистого карбида кремния. Эти покрытия предназначены для нанесения на очищенный графит, керамику и компоненты из тугоплавких металлов.
Наши покрытия высокой чистоты в первую очередь предназначены для использования в полупроводниковой и электронной промышленности. Они служат защитным слоем для подложек, токоприемников и нагревательных элементов, защищая их от агрессивных и реактивных сред, возникающих в таких процессах, как MOCVD и EPI. Эти процессы являются неотъемлемой частью обработки пластин и производства устройств. Кроме того, наши покрытия хорошо подходят для применения в вакуумных печах и нагревании образцов, где встречаются условия высокого вакуума, реактивной среды и кислорода.
В VeTek Semiconductor мы предлагаем комплексное решение с использованием наших передовых возможностей механического цеха. Это позволяет нам производить базовые компоненты с использованием графита, керамики или тугоплавких металлов и наносить керамические покрытия SiC или TaC собственными силами. Мы также предоставляем услуги по нанесению покрытий на детали, поставляемые заказчиком, обеспечивая гибкость для удовлетворения разнообразных потребностей.
Наши продукты с покрытием из карбида кремния широко используются в эпитаксии Si, эпитаксии SiC, системе MOCVD, процессе RTP/RTA, процессе травления, процессе травления ICP/PSS, процессах различных типов светодиодов, включая синие и зеленые светодиоды, ультрафиолетовые светодиоды и глубокие ультрафиолетовые лучи. Светодиод и т. д., адаптированный к оборудованию LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и так далее.
Основные физические свойства покрытия CVD SiC | |
Свойство | Типичное значение |
Кристаллическая структура | FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная |
Плотность | 3,21 г/см³ |
Твердость | Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г) |
Размер зерна | 2~10 мкм |
Химическая чистота | 99,99995% |
Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
Температура сублимации | 2700℃ |
изгибная прочность | 415 МПа РТ 4-точечный |
Модуль Юнга | Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃ |
Теплопроводность | 300Вт·м-1·К-1 |
Тепловое расширение (КТР) | 4,5×10-6К-1 |
Добро пожаловать в VeTek Semiconductor, вашего надежного производителя покрытий CVD SiC. Мы гордимся тем, что предлагаем верхнюю часть коллектора с покрытием SiC Aixtron, которая профессионально разработана с использованием графита высокой чистоты и имеет современное покрытие SiC CVD с содержанием примесей менее 5 частей на миллион. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам с любыми вопросами или запросами.
Читать далееОтправить запросБлагодаря нашему опыту в производстве покрытий SiC CVD, компания VeTek Semiconductor с гордостью представляет нижнюю часть коллектора с покрытием SiC Aixtron. Нижняя часть коллектора с покрытием SiC изготовлена из графита высокой чистоты и покрыта CVD SiC, обеспечивающим содержание примесей ниже 5 частей на миллион. Не стесняйтесь обращаться к нам для получения дополнительной информации и запросов.
Читать далееОтправить запросВ VeTek Semiconductor мы специализируемся на исследованиях, разработках и промышленном внедрении покрытий CVD SiC и покрытий CVD TaC. Одним из образцовых продуктов являются внутренние сегменты покрытия из карбида кремния, которые подвергаются обширной обработке для получения высокоточной поверхности из карбида кремния с плотным покрытием CVD. Это покрытие демонстрирует исключительную устойчивость к высоким температурам и обеспечивает надежную защиту от коррозии. Не стесняйтесь обращаться к нам по любым вопросам.
Читать далееОтправить запросVetek Semiconductor занимается продвижением и коммерциализацией покрытий CVD SiC и покрытий CVD TaC. Например, наши сегменты крышки с покрытием SiC подвергаются тщательной обработке, в результате чего получается плотное покрытие CVD SiC с исключительной точностью. Он демонстрирует замечательную устойчивость к высоким температурам и обеспечивает надежную защиту от коррозии. Мы приветствуем ваши запросы.
Читать далееОтправить запросVetek Semiconductor специализируется на исследованиях, разработках и промышленном внедрении покрытий CVD SiC и покрытий CVD TaC. Если взять в качестве примера MOCVD Susceptor, продукт подвергается тщательной обработке с высокой точностью, плотным CVD-покрытием SIC, устойчивостью к высоким температурам и сильной коррозионной стойкостью. Запрос на нас приветствуется.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является новатором в производстве SiC-покрытий в Китае. Кольцо предварительного нагрева, предоставленное VeTek Semiconductor, предназначено для процесса эпитаксии. Равномерное покрытие из карбида кремния и высококачественный графитовый материал в качестве сырья обеспечивают равномерное осаждение и улучшают качество и однородность эпитаксиального слоя. Мы надеемся на долгосрочное сотрудничество с вами.
Читать далееОтправить запрос