VeTek Semiconductor специализируется на производстве продуктов с покрытиями из сверхчистого карбида кремния. Эти покрытия предназначены для нанесения на очищенный графит, керамику и компоненты из тугоплавких металлов.
Наши покрытия высокой чистоты в первую очередь предназначены для использования в полупроводниковой и электронной промышленности. Они служат защитным слоем для подложек, токоприемников и нагревательных элементов, защищая их от агрессивных и реактивных сред, возникающих в таких процессах, как MOCVD и EPI. Эти процессы являются неотъемлемой частью обработки пластин и производства устройств. Кроме того, наши покрытия хорошо подходят для применения в вакуумных печах и нагревании образцов, где встречаются условия высокого вакуума, реактивной среды и кислорода.
В VeTek Semiconductor мы предлагаем комплексное решение с использованием наших передовых возможностей механического цеха. Это позволяет нам производить базовые компоненты с использованием графита, керамики или тугоплавких металлов и наносить керамические покрытия SiC или TaC собственными силами. Мы также предоставляем услуги по нанесению покрытий на детали, поставляемые заказчиком, обеспечивая гибкость для удовлетворения разнообразных потребностей.
Наши продукты с покрытием из карбида кремния широко используются в эпитаксии Si, эпитаксии SiC, системе MOCVD, процессе RTP/RTA, процессе травления, процессе травления ICP/PSS, процессах различных типов светодиодов, включая синие и зеленые светодиоды, ультрафиолетовые светодиоды и глубокие ультрафиолетовые лучи. Светодиод и т. д., адаптированный к оборудованию LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и так далее.
Основные физические свойства покрытия CVD SiC | |
Свойство | Типичное значение |
Кристаллическая структура | FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная |
Плотность | 3,21 г/см³ |
Твердость | Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г) |
Размер зерна | 2~10 мкм |
Химическая чистота | 99,99995% |
Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
Температура сублимации | 2700℃ |
изгибная прочность | 415 МПа РТ 4-точечный |
Модуль Юнга | Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃ |
Теплопроводность | 300Вт·м-1·К-1 |
Тепловое расширение (КТР) | 4,5×10-6К-1 |
VeTek Semiconductor является профессиональным производителем, поставщиком и экспортером графитовых цилиндрических токоприемников с покрытием SiC для EPI. При поддержке профессиональной команды и передовых технологий VeTek Semiconductor может предоставить вам высокое качество по разумным ценам. Мы приглашаем вас посетить нашу фабрику для дальнейшего обсуждения.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor имеет многолетний опыт производства высококачественных дефлекторов для тиглей с графитовым покрытием SiC. У нас есть собственная лаборатория для исследований и разработок материалов, мы можем поддержать ваши индивидуальные разработки с превосходным качеством. Мы приглашаем вас посетить нашу фабрику для более подробного обсуждения.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком, который занимается поставкой высококачественных эпитаксиальных токопроводителей MOCVD для 4-дюймовых пластин. Имея богатый отраслевой опыт и профессиональную команду, мы можем предложить нашим клиентам экспертные и эффективные решения.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком, специализирующимся на поставке высококачественных эпитаксиально-графитовых токоприемников GaN для G5. мы установили долгосрочные и стабильные партнерские отношения со многими известными компаниями в стране и за рубежом, заслужив доверие и уважение наших клиентов.
Читать далееОтправить запросПолупроводниковый токоприемник VeTek Semiconductor с покрытием SiC представляет собой высоконадежное и долговечное устройство. Он разработан, чтобы выдерживать высокие температуры и агрессивные химические среды, сохраняя при этом стабильную производительность и длительный срок службы. Благодаря своим превосходным технологическим возможностям полупроводниковый токоприемник с покрытием SiC сокращает частоту замены и технического обслуживания, тем самым повышая эффективность производства. Мы с нетерпением ждем возможности сотрудничать с вами.
Читать далееОтправить запросMOCVD-приемник с SiC-покрытием VeTek Semiconductor представляет собой устройство с отличным технологическим процессом, долговечностью и надежностью. Они могут выдерживать высокие температуры и химические среды, сохранять стабильную производительность и длительный срок службы, тем самым сокращая частоту замены и технического обслуживания и повышая эффективность производства. Наш эпитаксиальный токоприемник MOCVD известен своей высокой плотностью, превосходной плоскостностью и отличным терморегулированием, что делает его предпочтительным оборудованием в суровых производственных условиях. С нетерпением ждем сотрудничества с вами.
Читать далееОтправить запрос