Кольцо с покрытием из карбида тантала

Полупроводниковое кольцо VeTek с покрытием из карбида тантала изготовлено изграфити покрыты карбидом тантала — комбинация, которая использует лучшие свойства обоих материалов для обеспечения превосходных характеристик и долговечности. 

Покрытие TaC на кольце покрытия из карбида тантала гарантирует, что оно остается химически инертным в реактивной атмосфере печей для выращивания кристаллов SiC, в которой часто используются такие газы, как водород, аргон и азот. Эта химическая инертность жизненно важна для предотвращения любого загрязнения растущего кристалла, которое может привести к дефектам и снижению характеристик конечных полупроводниковых продуктов. Кроме того, термическая стабильность, обеспечиваемая покрытием TaC, позволяет кольцу с покрытием из карбида тантала эффективно работать при высоких температурах, необходимых для роста кристаллов SiC, обычно превышающих 2000°C.

Механические свойства TaC значительно снижают износ кольца с покрытием из карбида тантала. Это крайне важно из-за повторяющегося характера процесса роста кристаллов, который подвергает направляющее кольцо частым термическим циклам и механическим нагрузкам. Твердость и износостойкость TaC гарантируют, что кольцо с покрытием TaC сохраняет свою структурную целостность и точные размеры в течение длительного периода времени, сводя к минимуму необходимость частой замены и сокращая время простоя в производственном процессе. 

Кроме того, сочетание графита и TaC в покрытии из карбида тантала оптимизирует температурный режим в печи для выращивания кристаллов. Высокая теплопроводность графита эффективно распределяет тепло, предотвращая образование горячих точек и способствуя равномерному росту кристаллов. Между тем, покрытие TaC служит тепловым барьером, защищая графитовый сердечник от прямого воздействия высоких температур и химически активных газов. Результатом синергии между материалами сердцевины и покрытия является направляющее кольцо, которое не только выдерживает суровые условия эксплуатации.Рост кристаллов SiCно также повышает общую эффективность и качество процесса.

Полупроводниковое кольцо VeTek с покрытием из карбида тантала является важным компонентом в полупроводниковой промышленности, специально разработанным для ростаКристаллы карбида кремния. В его конструкции использованы сильные стороны графита и карбида тантала, обеспечивающие исключительную производительность в условиях высоких температур и напряжений. Покрытие TaC обеспечивает химическую инертность, механическую прочность и термическую стабильность, которые имеют решающее значение для производства высококачественных кристаллов SiC. Сохраняя свою целостность и функциональность в экстремальных условиях, кольцо поддерживает эффективный и бездефектный рост кристаллов SiC, способствуя развитию мощных и высокочастотных полупроводниковых приборов.

VeTek Semiconductor — ведущий производитель и поставщикПокрытие из карбида тантала, Покрытие из карбида кремнияиСпециальный графитв Китае. Мы уже давно стремимся предоставлять передовые технологии и решения для полупроводниковой промышленности и искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Покрытие из карбида тантала (TaC)на микроскопическом срезе：

ОбзорЦепь производства эпитаксии полупроводниковых чипов：