Датчик MOCVD с покрытием TaC

VeTek Semiconductor — ведущий китайский производитель, поставщик и экспортер, специализирующийся на токопроводителях MOCVD с покрытием TaC. Приглашаем вас прийти на наш завод, чтобы купить новейшие, недорогие и высококачественные датчики MOCVD с покрытием TaC. Мы надеемся на сотрудничество с вами.

Светодиодная эпитаксия сталкивается с такими проблемами, как контроль качества кристаллов, выбор и подбор материалов, структурное проектирование и оптимизация, контроль и согласованность процесса, а также эффективность светоотдачи. Выбор правильного материала носителя эпитаксии пластины имеет решающее значение, а покрытие его тонкой пленкой карбида тантала (TaC) (покрытие TaC) дает дополнительные преимущества.

При выборе материала носителя эпитаксии пластины необходимо учитывать несколько ключевых факторов:

Температурная устойчивость и химическая стабильность. Процессы эпитаксии светодиодов связаны с высокими температурами и могут включать использование химикатов. Поэтому необходимо выбирать материалы с хорошей термостойкостью и химической стабильностью, чтобы обеспечить устойчивость носителя в высокотемпературных и химических средах.

Плоскостность поверхности и износостойкость: Поверхность носителя эпитаксии должна иметь хорошую плоскостность, чтобы обеспечить равномерный контакт и стабильный рост эпитаксии. Кроме того, износостойкость важна для предотвращения повреждения поверхности и истирания.

Теплопроводность. Выбор материала с хорошей теплопроводностью помогает эффективно рассеивать тепло, поддерживая стабильную температуру роста эпитаксионного слоя и улучшая стабильность и последовательность процесса.

В этом отношении покрытие носителя эпитаксии пластины TaC дает следующие преимущества:

Высокотемпературная стабильность: покрытие TaC демонстрирует превосходную высокотемпературную стабильность, что позволяет ему сохранять свою структуру и характеристики во время процессов высокотемпературной эпитаксии и обеспечивает превосходную термостойкость.

Химическая стабильность: покрытие TaC устойчиво к коррозии, вызываемой обычными химическими веществами и атмосферой, защищая носитель от химического разложения и повышая его долговечность.

Твердость и износостойкость: покрытие TaC обладает высокой твердостью и износостойкостью, укрепляя поверхность носителя эпитаксии, уменьшая повреждения и износ и продлевая срок его службы.

Теплопроводность: покрытие TaC демонстрирует хорошую теплопроводность, способствуя рассеиванию тепла, поддерживая стабильную температуру роста эпитаксионного слоя и улучшая стабильность и однородность процесса.

Таким образом, выбор носителя для эпитаксии с покрытием TaC помогает решить проблемы светодиодной эпитаксии, отвечая требованиям высоких температур и химических сред. Это покрытие обладает такими преимуществами, как высокотемпературная стабильность, химическая стабильность, твердость и износостойкость, а также теплопроводность, что способствует повышению производительности, срока службы и эффективности производства носителя для эпитаксионных пластин.

Основные физические свойства покрытия TaC:

Цех полупроводникового производства ВеТек

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов: