Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком полумесяцев из карбида тантала в Китае. VeTek Semiconductor предлагает полумесяц с покрытием TaC из карбида тантала, который играет поддерживающую и транспортирующую роль в эпитаксиальном процессе карбида кремния. Он не только поддерживает подложку, но и обеспечивает плоское основание, позволяющее эпитаксии расти на ней равномерно.

Качество и характеристики полумесяца напрямую влияют на качество и производительность пластины во время эпитаксиального процесса карбида кремния. Поэтому проектирование и выбор подходящей части полумесяца имеют решающее значение для успеха процесса эпитаксиальной обработки SiC. Полумесяц с покрытием из карбида тантала TaC производства VeTek Semiconductor может повысить его термостойкость, коррозионную стойкость и износостойкость, что значительно улучшает стабильность и срок службы полумесяца в процессе роста.

Параметр покрытия из карбида тантала:

Преимущества нашего полумесяца с покрытием из карбида тантала TaC:

1. Высокая термостойкость

2. Высокая коррозионная стойкость

3. Высокая твердость и износостойкость.

4. Хорошая теплопроводность

5. Хорошая химическая инертность

Цех полупроводникового производства ВеТек