Поддержка покрытия из карбида тантала

Основная функция VeTek SemiconductorПокрытие из карбида тантала (TaC)Поддержка направлена ​​на улучшениетермостойкость, износостойкость и коррозионная стойкостьподложки путем нанесения слоя покрытия из карбида тантала, чтобы повысить точность и надежность процесса и продлить срок службы компонентов. Это высокоэффективное покрытие, используемое в области обработки полупроводников.

Основа покрытия из карбида тантала от VeTek Semiconductor имеет твердость по шкале Мооса около 9–10, уступая только алмазу. Он обладает чрезвычайно высокой износостойкостью и может эффективно противостоять поверхностному износу и ударам во время обработки, тем самым эффективно продлевая срок службы компонентов оборудования. В сочетании с высокой температурой плавления около 3880°C он часто используется для покрытия ключевых компонентов полупроводникового оборудования, таких как поверхностные покрытия опорных конструкций, оборудования для термообработки, камер или прокладок в полупроводниковом оборудовании, для повышения его износостойкости и высокой температуры. сопротивление.

Из-за чрезвычайно высокой температуры плавления карбида тантала (около 3880°C) в процессах обработки полупроводников, таких какхимическое осаждение из паровой фазы (CVD)ифизическое осаждение из паровой фазы (PVD)Покрытие TaC с высокой устойчивостью к высоким температурам и химической коррозии может эффективно защитить компоненты оборудования и предотвратить коррозию или повреждение подложки в экстремальных условиях, обеспечивая эффективную защиту от высокотемпературных сред при производстве пластин. Эта особенность также определяет, что поддержка покрытия из карбида тантала VeTek Semiconductor часто используется в процессах травления и коррозии.

Поддержка покрытия из карбида тантала также снижает загрязнение частицами. Во время обработки пластин поверхностный износ обычно приводит к загрязнению частицами, что влияет на качество продукта. Выдающиеся характеристики продукта TaC Coating, твёрдость, близкая к 9-10 по шкале Мооса, могут эффективно снизить износ, тем самым уменьшая образование частиц. В сочетании с превосходной теплопроводностью покрытия TaC (около 21 Вт/м·К) оно может поддерживать хорошую теплопроводность в условиях высоких температур, тем самым значительно улучшая производительность и стабильность производства пластин.

Основные продукты VeTek Semiconductor с покрытием TaC включают в себяНагреватель покрытия TaC, Тигель с CVD-покрытием TaC, Датчик вращения покрытия TaCиЗапасная часть покрытия TaCи т. д., а также поддержку индивидуальных услуг по продуктам. VeTek Semiconductor стремится предоставлять превосходную продукцию и технические решения для полупроводниковой промышленности. Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

Основные физические свойства покрытия CVD TaC：