Деталь полумесяца с покрытием из карбида тантала для LPE

VeTek Semiconductor - это крупномасштабная деталь полумесяца с покрытием из карбида тантала для производителя и новатора LPE в Китае. Мы уже много лет специализируемся на покрытиях TaC. Наша продукция выдерживает температуры выше 2000 градусов Цельсия, продлевая срок службы расходных материалов. Мы с нетерпением ждем стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Как профессиональный производитель, компания VeTek Semiconductor хотела бы предоставить вам высококачественную деталь полумесяца с покрытием из карбида тантала для LPE.

VeTek Semiconductor является профессиональным лидером в Китае, производителем SiC, покрытий TaC, твердого SiC с высоким качеством и разумной ценой. Наши детали полумесяца с покрытием из карбида тантала для LPE используются в реакционной камере горизонтального и вертикального эпитаксионного оборудования для переноса подложки, контроля температуры, нагрева. сохранение, вентиляция, защита и другие функции, чтобы совместно контролировать толщину, легирование, дефекты и другие характеристики материала роста эпитаксионного слоя SiC внутри реакционной камеры.

Продукты, связанные с VeTek Semiconductor: верхний полумесяц, нижний полумесяц, защитная крышка, изоляционная крышка, интерфейс для отвода технологического воздуха. Наша компания стремится предоставлять клиентам полный спектр решений для компонентов реакционных камер с покрытием SiC и TaC.

Параметры продукта полумесяца с покрытием из карбида тантала для LPE

Физические свойства покрытия TaC
Плотность	14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность	0.3
Коэффициент теплового расширения	6,3 10-6/К
Твердость (ГК)	2000 Гонконг
Сопротивление	1×10-5 Ом*см
Термическая стабильность	<2500℃
Изменение размера графита	-10~-20ум
Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Цех полупроводникового производства ВеТек

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов:

Горячие Теги: Деталь полумесяца с покрытием из карбида тантала для LPE, Китай, Производитель, Поставщик, Фабрика, Индивидуальная, Купить, Усовершенствованная, Прочная, Сделано в Китае

Тег продукта

Связанная категория