Эпиприемник с покрытием SiC

Vetek Semiconductor является профессиональным производителем в Китае эпиграфических токоприемников с SiC-покрытием.

Эпи-сунсцептор с карбидным покрытием VeTek Semiconductor изготовлен из графита и карбида кремния. В этом продукте с покрытием SiC используется импортный графит, который имеет более стабильные характеристики и длительный срок службы и высоко оценен нашими европейскими и американскими клиентами. В то же время концентрация эпицептора SiC Coating Epi составляет менее 5 частей на миллион, а однородность очень хорошая. После постоянной технологической модернизации VeTek Semiconductor использует новый процесс, обеспечивающий хорошее соответствие коэффициента теплового расширения покрытия SiC и графитовых материалов.

SiC Coating Epi Susceptor специально используется в полупроводниковом оборудовании в условиях высоких температур и агрессивных сред. Эпи-суссептор с покрытием SiC обычно используется в таком оборудовании, как AIXTRON, особенно в процессе эпитаксии глубоким ультрафиолетом (DUV Epitaxy), играя ключевую роль.

В процессе эпитаксии глубоким ультрафиолетом (DUV Epitaxy) в сочетании с превосходной устойчивостью к высоким температурам и коррозии SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Epi Susceptor обычно устанавливается вокруг реакционной камеры в оборудовании AIXTRON в качестве носителя во время процесса эпитаксии из повреждение или загрязнение оборудования.

Этот эпитаксия с покрытием SiC предназначен для эпитаксии глубоким ультрафиолетом. Мы строго контролируем покрытие из карбида кремния, применяем технологию буферного слоя, чтобы уменьшить проблемы, вызванные различиями в коэффициентах теплового расширения между покрытиями из графита и карбида кремния, тем самым продлевая срок службы продукта. В настоящее время наш продукт получил множество похвал и признан одним из лучших на отечественном рынке.

Являясь лидером отрасли в области продуктов с SiC-покрытиями, VeTek Semiconductor поддерживает услуги по индивидуальной настройке продуктов и приемлемые цены на продукцию, а также с нетерпением ждет ваших дальнейших консультаций.

ДАННЫЕ SEM ПЛЕНКИ CVD SIC:

Магазины продукции VeTek Semiconductor SiC Coating Jacket:

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов: