VeTek Semiconductor — ваш инновационный партнер в области обработки полупроводников. Благодаря нашему обширному портфолио комбинаций материалов карбид-кремниевой керамики полупроводникового класса, возможностям производства компонентов и услугам по разработке приложений мы можем помочь вам преодолеть серьезные проблемы. Инженерно-техническая керамика из карбида кремния широко применяется в полупроводниковой промышленности благодаря своим исключительным характеристикам материала. Сверхчистая керамика из карбида кремния VeTek Semiconductor часто используется на протяжении всего цикла производства и обработки полупроводников.
VeTek Semiconductor предлагает компоненты из керамики, специально разработанные для периодической диффузии и требований LPCVD, включая:
• Перегородки и держатели
• Форсунки
• Вкладыши и технологические трубы
• Консольные лопасти из карбида кремния
• Вафельные кораблики и пьедесталы
Консольное весло SiC SiC технологические трубы Технологическая трубка из карбида кремния Вертикальная вафельная лодочка из карбида кремния Горизонтальная вафельная лодочка из карбида кремния SiC Horizontals Quare вафельная лодочка Вафельный кораблик SiC LPCVD Лодка с горизонтальной пластиной SiC Круглая вафельная лодочка из карбида кремния
Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления, включая:
Кольца фокусировки
Насадки
Щиты
Душевые лейки
Окна/крышки
Другие пользовательские компоненты
VeTek Semiconductor предлагает передовые компоненты материалов, предназначенные для применения в высокотемпературной термической обработке в полупроводниковой промышленности. Эти приложения включают процессы RTP, Epi, диффузию, окисление и отжиг. Наша техническая керамика выдерживает термические удары, обеспечивая надежную и стабильную работу. С помощью компонентов VeTek Semiconductor производители полупроводников могут добиться эффективной и высококачественной термической обработки, способствуя общему успеху производства полупроводников.
• Диффузоры
• Изоляторы
• Суцепторы
• Другие специальные тепловые компоненты.
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
Свойство | Типичное значение |
Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
Содержание SiC / SiC | > 99,96% |
Si / Бесплатный контент Si | < 0,1% |
Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
Кажущаяся пористость | < 16% |
Сила сжатия | > 600 МПа |
Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль упругости | 240 ГПа |
Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |
VeTek Semiconductor предлагает высокопроизводительные технологические трубки SiC для производства полупроводников. Наши технологические трубы SiC превосходно справляются с процессами окисления и диффузии. Благодаря превосходному качеству и мастерству изготовления эти трубки обладают высокотемпературной стабильностью и теплопроводностью, что позволяет эффективно обрабатывать полупроводники. Мы предлагаем конкурентоспособные цены и стремимся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросКонсольная лопатка SiC компании VeTek Semiconductor представляет собой продукт с очень высокими характеристиками. Наши консольные лопатки из карбида кремния обычно используются в печах термообработки для перемещения и поддержки кремниевых пластин, химического осаждения из паровой фазы (CVD) и других технологических процессов в процессах производства полупроводников. Высокая температурная стабильность и высокая теплопроводность материала SiC обеспечивают высокую эффективность и надежность процесса обработки полупроводников. Мы стремимся предоставлять высококачественную продукцию по конкурентоспособным ценам и надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком в Китае пластин из карбида кремния для горизонтальных печей. Он имеет многолетний опыт в области исследований, разработок и производства, может хорошо контролировать качество и предлагать конкурентоспособные цены. Вы можете быть уверены, что купите у нас вафельную лодочку из карбида кремния для горизонтальной печи.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком в Китае пластин из карбида кремния с покрытием SiC. Имея многолетний опыт в области исследований, разработок и производства, мы можем хорошо контролировать качество и предлагать конкурентоспособные цены. Добро пожаловать на посещение нашей фабрики и дальнейшее обсуждение сотрудничества.
Читать далееОтправить запросКонсольная лопасть из карбида кремния VeTek Semiconductor является важным компонентом в процессе производства полупроводников и особенно подходит для диффузионных печей или печей LPCVD в высокотемпературных процессах, таких как диффузия и RTP. Наша консольная лопасть из карбида кремния тщательно спроектирована и изготовлена с превосходной устойчивостью к высоким температурам и механической прочностью и может безопасно и надежно транспортировать пластины в технологическую трубку в суровых технологических условиях для различных высокотемпературных процессов, таких как диффузия и RTP. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросДержатели пластин из высокочистого карбида кремния VeTek Semiconductor — это важные компоненты в обработке полупроводников, предназначенные для безопасного хранения и транспортировки хрупких кремниевых пластин, играющие ключевую роль на всех этапах производства. Держатели пластин из высокочистого карбида кремния VeTek Semiconductor тщательно разработаны и изготовлены для обеспечения превосходной производительности и надежности. VeTek Semiconductor стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос