Китай Керамика из карбида кремния Производитель,Поставщик,Завод

VeTek Semiconductor — ваш инновационный партнер в области обработки полупроводников. Благодаря нашему обширному портфолио комбинаций материалов карбид-кремниевой керамики полупроводникового класса, возможностям производства компонентов и услугам по разработке приложений мы можем помочь вам преодолеть серьезные проблемы. Инженерно-техническая керамика из карбида кремния широко применяется в полупроводниковой промышленности благодаря своим исключительным характеристикам материала. Сверхчистая керамика из карбида кремния VeTek Semiconductor часто используется на протяжении всего цикла производства и обработки полупроводников.

ДИФФУЗИЯ И LPCVD-ОБРАБОТКА

VeTek Semiconductor предлагает компоненты из керамики, специально разработанные для периодической диффузии и требований LPCVD, включая:

• Перегородки и держатели
• Форсунки
• Вкладыши и технологические трубы
• Консольные лопасти из карбида кремния
• Вафельные кораблики и пьедесталы

Консольное весло SiC SiC технологические трубы Технологическая трубка из карбида кремния Вертикальная вафельная лодочка из карбида кремния Горизонтальная вафельная лодочка из карбида кремния SiC Horizontals Quare вафельная лодочка Вафельный кораблик SiC LPCVD Лодка с горизонтальной пластиной SiC Круглая вафельная лодочка из карбида кремния

КОМПОНЕНТЫ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ

Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления, включая:

Кольца фокусировки

Насадки

Щиты

Душевые лейки

Окна/крышки

Другие пользовательские компоненты

КОМПОНЕНТЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ И ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ПРОЦЕССА

VeTek Semiconductor предлагает передовые компоненты материалов, предназначенные для применения в высокотемпературной термической обработке в полупроводниковой промышленности. Эти приложения включают процессы RTP, Epi, диффузию, окисление и отжиг. Наша техническая керамика выдерживает термические удары, обеспечивая надежную и стабильную работу. С помощью компонентов VeTek Semiconductor производители полупроводников могут добиться эффективной и высококачественной термической обработки, способствуя общему успеху производства полупроводников.

• Диффузоры

• Изоляторы

• Суцепторы

• Другие специальные тепловые компоненты.

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство	Типичное значение
Рабочая температура (°С)	1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
Содержание SiC / SiC	> 99,96%
Si / Бесплатный контент Si	< 0,1%
Объемная плотность	2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость	< 16%
Сила сжатия	> 600 МПа
Прочность на холодный изгиб	80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб	90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C	4,70 10-6/°С
Теплопроводность при 1200°C	23 Вт/м•К
Модуль упругости	240 ГПа
Устойчивость к термическому удару	Очень хорошо

View as

Вафельная лодочка из карбида кремния

Вафельная лодочка из карбида кремния высокой чистоты VeTek Semiconductor изготовлена из чрезвычайно чистого карбидокремниевого материала, обладающего превосходной термической стабильностью, механической прочностью и химической стойкостью. Лодочка для вафель из карбида кремния высокой чистоты используется в горячих зонах при производстве полупроводников, особенно в высокотемпературных средах, и играет важную роль в защите пластин, транспортировке материалов и поддержании стабильных процессов. VeTek Semiconductor продолжит усердно работать над инновациями и улучшением характеристик пластинчатых лодочек из карбида кремния высокой чистоты, чтобы удовлетворить растущие потребности производства полупроводников. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Читать далее Отправить запрос

Ультрачистый порошок карбида кремния для выращивания кристаллов

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком, поставляющим высококачественный сверхчистый порошок карбида кремния для выращивания кристаллов. Обладая чистотой до 99,999% по весу и чрезвычайно низким уровнем примесей азота, бора, алюминия и других примесей, он специально разработан для улучшения полуизоляционных свойств карбида кремния высокой чистоты. Добро пожаловать, чтобы узнать и сотрудничать с нами!

Читать далее Отправить запрос

<1 2 3 >

Являясь профессиональным производителем и поставщиком Керамика из карбида кремния в Китае, мы располагаем собственным заводом. Если вам нужны индивидуальные услуги, отвечающие конкретным потребностям вашего региона, или вы хотите купить передовые и надежные Керамика из карбида кремния, произведенные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.