Консольное весло SiC

Консольная лопатка SiC компании VeTek Semiconductor представляет собой продукт с очень высокими характеристиками. Наши консольные лопатки из карбида кремния обычно используются в печах термообработки для перемещения и поддержки кремниевых пластин, химического осаждения из паровой фазы (CVD) и других технологических процессов в процессах производства полупроводников. Высокая температурная стабильность и высокая теплопроводность материала SiC обеспечивают высокую эффективность и надежность процесса обработки полупроводников. Мы стремимся предоставлять высококачественную продукцию по конкурентоспособным ценам и надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Приглашаем вас прийти на наш завод Vetek Semiconductor, чтобы купить новейшую, недорогую и высококачественную консольную лопатку из карбида кремния. Мы надеемся на сотрудничество с вами.

Особенности консольной лопатки SiC VeTek Semiconductor:

Высокотемпературная стабильность: способен сохранять свою форму и структуру при высоких температурах, подходит для процессов высокотемпературной обработки.

Коррозионная стойкость: Отличная коррозионная стойкость к различным химикатам и газам.

Высокая прочность и жесткость: Обеспечивает надежную поддержку для предотвращения деформации и повреждений.

Преимущества консольной лопатки SiC VeTek Semiconductor:

Высокая точность: высокая точность обработки обеспечивает стабильную работу автоматизированного оборудования.

Низкое загрязнение: материал SiC высокой чистоты снижает риск загрязнения, что особенно важно для сверхчистых производственных сред.

Высокие механические свойства: способность выдерживать суровые рабочие условия с высокими температурами и высокими давлениями.

Конкретные области применения консольной лопатки SiC и принцип ее применения

Обращение с кремниевыми пластинами в производстве полупроводников:

Консольная лопатка SiC в основном используется для перемещения и поддержки кремниевых пластин при производстве полупроводников. Эти процессы обычно включают очистку, травление, нанесение покрытия и термообработку. Принцип применения:

Обращение с кремниевыми пластинами: Консольная лопатка из карбида кремния предназначена для безопасного зажима и перемещения кремниевых пластин. Во время процессов высокотемпературной и химической обработки высокая твердость и прочность материала SiC гарантируют, что кремниевая пластина не будет повреждена или деформирована.

Процесс химического осаждения из паровой фазы (CVD):

В процессе CVD консольная лопасть SiC используется для переноски кремниевых пластин, чтобы на их поверхности можно было наносить тонкие пленки. Принцип применения:

В процессе CVD консольная лопасть SiC используется для фиксации кремниевой пластины в реакционной камере, а газообразный предшественник разлагается при высокой температуре и образует тонкую пленку на поверхности кремниевой пластины. Химическая коррозионная стойкость материала SiC обеспечивает стабильную работу в условиях высоких температур и химических сред.

Параметры продукта консольной лопатки SiC

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство	Типичное значение
Рабочая температура (°С)	1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
содержание карбида кремния	> 99,96%
Бесплатный Si-контент	< 0,1%
Объемная плотность	2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость	< 16%
Сила сжатия	> 600 МПа
Прочность на холодный изгиб	80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб	90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C	4,70 10-6/°С
Теплопроводность при 1200°C	23 Вт/м•К
Модуль упругости	240 ГПа
Устойчивость к термическому удару	Очень хорошо

Производственные цеха:

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов:

Горячие Теги: Консольная лопатка из карбида кремния, Китай, Производитель, Поставщик, Фабрика, Индивидуальные, Купить, Передовые, Прочные, Сделано в Китае

Тег продукта

Связанная категория