Держатели пластин из высокочистого карбида кремния VeTek Semiconductor — это важные компоненты в обработке полупроводников, предназначенные для безопасного хранения и транспортировки хрупких кремниевых пластин, играющие ключевую роль на всех этапах производства. Держатели пластин из высокочистого карбида кремния VeTek Semiconductor тщательно разработаны и изготовлены для обеспечения превосходной производительности и надежности. VeTek Semiconductor стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
VeTek Semiconductor является профессиональным ведущим китайским производителем держателей пластин из чистого карбида кремния с высоким качеством и разумной ценой. Добро пожаловать, свяжитесь с нами.
Держатель пластин из высокочистого карбида кремния от VeTek Semiconductor — это носитель, предназначенный для нескольких пластин, чтобы максимально эффективно использовать пространство внутри технологической камеры. Эти держатели пластин из карбида кремния высокой чистоты обычно имеют прямоугольную или цилиндрическую форму, и каждый держатель имеет прецизионные пазы или канавки, которые отделены друг от друга, чтобы надежно удерживать одну пластину в вертикальном положении. Держатели пластин из карбида кремния высокой чистоты обладают превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозийным химическим веществам и механическим нагрузкам, что делает их идеальными для защиты пластин от потенциальных повреждений. Они изготовлены из карбида кремния высокой чистоты (SiC), чтобы обеспечить целостность и безопасность пластин во время обработки.
Носители пластин из карбида кремния с высокой степенью чистоты играют жизненно важную роль в сложных процессах, таких как диффузия, RTP и тепловые поля, служа стабильным носителем пластин для обеспечения плавной передачи между различным оборудованием и этапами. Его вертикальная структура минимизирует пространство в технологической камере, оптимизирует производительность и позволяет эффективно обрабатывать большие партии пластин. Носители пластин из карбида кремния высокой чистоты известны своей превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозии и механической прочностью, защищающей пластины от потенциальных повреждений.
Держатель пластин из высокочистого карбида кремния от VeTek Semiconductor изготовлен из карбида кремния высокой чистоты (SiC) и обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам, стойкостью к химической коррозии и механической прочностью для защиты целостности пластин в суровых условиях. Его тщательно продуманная конструкция и тщательно обработанные пазы обеспечивают надежное позиционирование пластин для удовлетворения потребностей высокоточной обработки.
VeTek Semiconductor стремится предоставлять клиентам высококачественную продукцию и надежную техническую поддержку. Будь то выращивание пластин, диффузия, осаждение тонких пленок или другие важные процессы, носитель для пластин из высокочистого карбида кремния VeTek Semiconductor может сыграть важную роль в обеспечении стабильности и постоянства производственного процесса. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
Свойство | Типичное значение |
Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
содержание карбида кремния | > 99,96% |
Бесплатный Si-контент | < 0,1% |
Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
Кажущаяся пористость | < 16% |
Сила сжатия | > 600 МПа |
Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль упругости | 240 ГПа |
Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |