Вафельная лодочка из карбида кремния с покрытием SiC

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком в Китае пластин из карбида кремния с покрытием SiC. Имея многолетний опыт в области исследований, разработок и производства, мы можем хорошо контролировать качество и предлагать конкурентоспособные цены. Добро пожаловать на посещение нашей фабрики и дальнейшее обсуждение сотрудничества.

Отправить запрос

Описание продукта

VeTek Semiconductor - китайский производитель и поставщик, который в основном производит вафельные лодочки из карбида кремния с покрытием из карбида кремния с многолетним опытом. Надеемся на установление деловых отношений с вами. Лодка для пластин из карбида кремния с покрытием SiC используется в диффузионных печах для полупроводников для переноски пластин для различных высокотемпературных процессов, таких как ионная имплантация, диффузия и отжиг. Он может обеспечить стабильную среду для пластин, обеспечивая однородность и постоянство температуры во время обработки.

Лодочки из карбида кремния с покрытием SiC обладают более высокой термостойкостью и химической стабильностью, что позволяет им работать при более высоких температурах и обеспечивает более длительный срок службы. Кроме того, они имеют более низкую скорость испарения материала и скорость адсорбции газа, что помогает снизить влияние примесей на обработку пластин.

Мы можем изготовить различные типы вафельных лодочек из карбида кремния, такие как горизонтальные вафельные лодочки, вертикальные вафельные лодочки и любые другие лодки по индивидуальному заказу.

Преимущества нашего карбида кремния высокой чистоты:

1. Высокотемпературная стабильность

2. Химическая инертность

3. Низкое содержание примесей

4. Теплопроводность

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство	Типичное значение
Рабочая температура (°С)	1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
содержание карбида кремния	> 99,96%
Бесплатный Si-контент	< 0,1%
Объемная плотность	2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость	< 16%
Сила сжатия	> 600 МПа
Прочность на холодный изгиб	80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб	90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C	4,70 10-6/°С
Теплопроводность при 1200°C	23 Вт/м•К
Модуль упругости	240 ГПа
Устойчивость к термическому удару	Очень хорошо

Цех полупроводникового производства ВеТек

Горячие Теги: Вафельная лодка из карбида кремния с покрытием SiC, Китай, Производитель, Поставщик, Фабрика, Индивидуальные, Купить, Усовершенствованные, Прочные, Сделано в Китае

Тег продукта

Связанная категория