Вафельные лодочки из карбида кремния для горизонтальной печи

Высококачественную пластинчатую лодочку из карбида кремния для горизонтальной печи предлагает китайский производитель VeTek Semiconductor. Купить Лодочку для вафель из карбида кремния для горизонтальной печи высокого качества напрямую с завода по низкой цене. Лодочка для вафель из карбида кремния для горизонтальной печи используется в трубах печи для загрузки и транспортировки пластин во время высокотемпературной обработки. Благодаря превосходным свойствам материалов из карбида кремния, таким как устойчивость к высоким температурам, стойкость к химической коррозии и термическая стабильность, они широко используются в различных процессах термообработки, таких как диффузия, окисление, CVD и отжиг.

Лодочка карбида кремния для горизонтальной печи изготовлена ​​из карбидокремниевого материала и имеет следующие характеристики:

1. Высокая твердость и износостойкость: карбид кремния уступает по твердости только алмазу, что делает его очень износостойким. Это позволяет лодкам из карбида кремния выдерживать многократные механические воздействия и трение, продлевая срок их службы.

2. Устойчивость к высоким температурам: карбид кремния имеет температуру плавления 2730°C, что делает лодочки из карбида кремния пригодными для работы в высокотемпературных средах и различных процессах производства полупроводников, таких как высокотемпературное окисление и диффузия.

3. Низкий коэффициент теплового расширения: карбид кремния имеет низкий коэффициент теплового расширения, что помогает поддерживать стабильность размеров при высоких температурах, предотвращая деформацию лодочки и влияя на точность обработки пластин.

4. Хорошая химическая стабильность: карбид кремния устойчив к большинству химикатов и не вступает в реакцию с обычными кислотными и щелочными растворами, обеспечивая безопасность и чистоту пластин.

Мы можем изготовить различные типы вафельных лодочек из карбида кремния, такие как горизонтальные вафельные лодочки, вертикальные вафельные лодочки и любые другие лодки по индивидуальному заказу.

Мы используем рекристаллизованный карбид кремния высокой чистоты со следующими параметрами:

Приложения

Лодочки из карбида кремния для горизонтальных печей находят широкое применение в полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности:

Очистка и травление пластин

Диффузия и окисление

Гальваника и травление

Химико-механическая полировка (ХМП)

Термическая обработка

Передача и хранение вафель

Цех полупроводникового производства ВеТек