Консольная лопасть из карбида кремния VeTek Semiconductor является важным компонентом в процессе производства полупроводников и особенно подходит для диффузионных печей или печей LPCVD в высокотемпературных процессах, таких как диффузия и RTP. Наша консольная лопасть из карбида кремния тщательно спроектирована и изготовлена с превосходной устойчивостью к высоким температурам и механической прочностью и может безопасно и надежно транспортировать пластины в технологическую трубку в суровых технологических условиях для различных высокотемпературных процессов, таких как диффузия и RTP. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Вы можете быть уверены, что купите консольную лопасть из карбида кремния по индивидуальному заказу у VeTek Semiconducto. Мы с нетерпением ждем сотрудничества с вами. Если вы хотите узнать больше, вы можете проконсультироваться с нами сейчас, мы ответим вам вовремя!
Консольная лопасть из карбида кремния VeTek Semiconductor изготовлена из карбида кремния высокой чистоты и обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам и механической прочностью. Это незаменимый ключевой компонент в процессе производства полупроводников, особенно в диффузионных печах или печах LPCVD, а также процессах RTP. Точная конструкция и изготовление консольной лопасти из карбида кремния обеспечивают безопасное позиционирование и перемещение пластин в соответствии с требованиями высокоточного процесса.
Консольная лопасть из карбида кремния VeTek Semiconductor изготовлена из карбида кремния в качестве основного материала. Карбид кремния обладает высокой прочностью и хорошей термической стабильностью, поэтому он может выдерживать суровые условия высокотемпературной технологической среды полупроводниковых печей. Одной из причин выбора карбида кремния является то, что он может адаптироваться к высокотемпературной среде в полупроводниковых печах.
Конструкция консольной лопатки из карбида кремния позволяет ей входить в технологическую трубу в печи и прочно фиксироваться на одном конце снаружи трубы. Такая конструкция гарантирует, что обрабатываемая пластина остается стабильной и поддерживается во время процесса, а также сводит к минимуму влияние на тепловую среду в печи.
VeTek Semiconductor стремится предоставлять высококачественную продукцию с консольными лопастями из карбида кремния. Наша продукция тщательно разрабатывается и производится с учетом строгих требований процесса производства полупроводников. Превосходные характеристики и надежность консольной лопатки из карбида кремния делают ее незаменимым ключевым компонентом в полупроводниковой промышленности. VeTek Semiconductor стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
Свойство | Типичное значение |
Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
содержание карбида кремния | > 99,96% |
Бесплатный Si-контент | < 0,1% |
Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
Кажущаяся пористость | < 16% |
Сила сжатия | > 600 МПа |
Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль упругости | 240 ГПа |
Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |