Дом > Продукты > Керамика из карбида кремния

Китай Керамика из карбида кремния Производитель,Поставщик,Завод

VeTek Semiconductor — ваш инновационный партнер в области обработки полупроводников. Благодаря нашему обширному портфолио комбинаций материалов карбид-кремниевой керамики полупроводникового класса, возможностям производства компонентов и услугам по разработке приложений мы можем помочь вам преодолеть серьезные проблемы. Инженерно-техническая керамика из карбида кремния широко применяется в полупроводниковой промышленности благодаря своим исключительным характеристикам материала. Сверхчистая керамика из карбида кремния VeTek Semiconductor часто используется на протяжении всего цикла производства и обработки полупроводников.


ДИФФУЗИЯ И LPCVD-ОБРАБОТКА

VeTek Semiconductor предлагает компоненты из керамики, специально разработанные для периодической диффузии и требований LPCVD, включая:

• Перегородки и держатели
• Форсунки
• Вкладыши и технологические трубы
• Консольные лопасти из карбида кремния
• Вафельные кораблики и пьедесталы


КОМПОНЕНТЫ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ

Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления, включая:

Кольца фокусировки

Насадки

Щиты

Душевые лейки

Окна/крышки

Другие пользовательские компоненты


КОМПОНЕНТЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ И ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ПРОЦЕССА

VeTek Semiconductor предлагает передовые компоненты материалов, предназначенные для применения в высокотемпературной термической обработке в полупроводниковой промышленности. Эти приложения включают процессы RTP, Epi, диффузию, окисление и отжиг. Наша техническая керамика выдерживает термические удары, обеспечивая надежную и стабильную работу. С помощью компонентов VeTek Semiconductor производители полупроводников могут добиться эффективной и высококачественной термической обработки, способствуя общему успеху производства полупроводников.

• Диффузоры

• Изоляторы

• Суцепторы

• Другие специальные тепловые компоненты.


Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство Типичное значение
Рабочая температура (°С) 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
Содержание SiC / SiC > 99,96%
Si / Бесплатный контент Si < 0,1%
Объемная плотность 2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость < 16%
Сила сжатия > 600 МПа
Прочность на холодный изгиб 80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб 90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C 4,70 10-6/°С
Теплопроводность при 1200°C 23  Вт/м•К
Модуль упругости 240 ГПа
Устойчивость к термическому удару Очень хорошо


View as  
 
Вафельная лодочка из карбида кремния

Вафельная лодочка из карбида кремния

Вафельная лодочка из карбида кремния высокой чистоты VeTek Semiconductor изготовлена ​​из чрезвычайно чистого карбидокремниевого материала, обладающего превосходной термической стабильностью, механической прочностью и химической стойкостью. Лодочка для вафель из карбида кремния высокой чистоты используется в горячих зонах при производстве полупроводников, особенно в высокотемпературных средах, и играет важную роль в защите пластин, транспортировке материалов и поддержании стабильных процессов. VeTek Semiconductor продолжит усердно работать над инновациями и улучшением характеристик пластинчатых лодочек из карбида кремния высокой чистоты, чтобы удовлетворить растущие потребности производства полупроводников. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Читать далееОтправить запрос
Ультрачистый порошок карбида кремния для выращивания кристаллов

Ультрачистый порошок карбида кремния для выращивания кристаллов

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком, поставляющим высококачественный сверхчистый порошок карбида кремния для выращивания кристаллов. Обладая чистотой до 99,999% по весу и чрезвычайно низким уровнем примесей азота, бора, алюминия и других примесей, он специально разработан для улучшения полуизоляционных свойств карбида кремния высокой чистоты. Добро пожаловать, чтобы узнать и сотрудничать с нами!

Читать далееОтправить запрос
Являясь профессиональным производителем и поставщиком Керамика из карбида кремния в Китае, мы располагаем собственным заводом. Если вам нужны индивидуальные услуги, отвечающие конкретным потребностям вашего региона, или вы хотите купить передовые и надежные Керамика из карбида кремния, произведенные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept