SiC Wafer Boat от VeTek Semiconductor — это продукт с очень высокими характеристиками. Наши SiC Wafer Boat обычно используются в диффузионных печах для окисления полупроводников, чтобы обеспечить равномерное распределение температуры по пластине и улучшить качество обработки кремниевых пластин. Высокая температурная стабильность и высокая теплопроводность материалов SiC обеспечивают эффективную и надежную обработку полупроводников. Мы стремимся предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам и надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Ниже приводится описание высококачественной SiC Wafer Boat от VeTek Semiconductor, которая поможет вам лучше понять SiC Wafer Boat. Приветствуем новых и старых клиентов, которые продолжат сотрудничать с нами, чтобы создать лучшее будущее!
Горизонтальные квадратные вафельные лодочки из карбида кремния служат важными компонентами в процессах высокотемпературной диффузии, функционируя в качестве подложек для пластин. Эти лодочки играют жизненно важную роль в безопасном и эффективном обращении с деликатными пластинами во время обработки.
Устойчивость к высоким температурам: Лодка должна демонстрировать исключительную прочность при высоких температурах, чтобы выдерживать суровые условия высокотемпературной обработки.
Химическая стабильность при высоких температурах. Сохранение структурной целостности и химического состава в условиях экстремально высоких температур обеспечивает чистоту процесса.
Отсутствие частиц: Лодочка не должна содержать частиц или загрязнений, чтобы гарантировать качество обрабатываемых пластин.
Универсальные характеристики: Vetek Semiconductor предлагает ряд стандартных спецификаций и предоставляет индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных требований.
Качество и скорость: Vetek Semiconductor обеспечивает высокое качество продукции и быструю доставку, удовлетворяя потребности быстро развивающихся отраслей.
Опыт работы с материалами: использование плотного рекристаллизованного карбида кремния гарантирует превосходные характеристики и долговечность лодок.
Порог высокой температуры: Лодки Vetek Semiconductor имеют максимальную рабочую температуру 1600°C, подходящую для самых требовательных высокотемпературных процессов.
Экономическая эффективность: Лодки Vetek Semiconductor предлагают весьма конкурентоспособное соотношение цены и качества, обеспечивая соотношение цены и качества.
Долговечность: Благодаря длительному сроку службы лодочки Vetek Semiconductor обеспечивают надежность и стабильность процессов обработки пластин.
Vetek Semiconductor выделяется на рынке своей приверженностью качеству, возможностям индивидуальной настройки, инновациям в материалах, высокотемпературным возможностям, экономичности и долговечности, что делает ее предпочтительным выбором для производителей полупроводников во всем мире.
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
Свойство | Типичное значение |
Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
содержание карбида кремния | > 99,96% |
Бесплатный Si-контент | < 0,1% |
Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
Кажущаяся пористость | < 16% |
Сила сжатия | > 600 МПа |
Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль упругости | 240 ГПа |
Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |