Вафельная лодочка из карбида кремния высокой чистоты VeTek Semiconductor изготовлена из чрезвычайно чистого карбидокремниевого материала, обладающего превосходной термической стабильностью, механической прочностью и химической стойкостью. Лодочка для вафель из карбида кремния высокой чистоты используется в горячих зонах при производстве полупроводников, особенно в высокотемпературных средах, и играет важную роль в защите пластин, транспортировке материалов и поддержании стабильных процессов. VeTek Semiconductor продолжит усердно работать над инновациями и улучшением характеристик пластинчатых лодочек из карбида кремния высокой чистоты, чтобы удовлетворить растущие потребности производства полупроводников. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Как профессиональный производитель, компания VeTek Semiconductor хотела бы предоставить вам высококачественные вафельные лодочки из карбида кремния.
Отличные тепловые характеристики: вафельные лодочки из карбида кремния высокой чистоты VeTek Semiconductor обладают отличными тепловыми характеристиками, стабильны в высокотемпературных средах и обладают отличной теплопроводностью, что позволяет им работать при температурах, значительно превышающих температуру окружающей среды. Это делает вафельную лодочку из карбида кремния высокой чистоты идеальной для применений, требующих высокой мощности и выносливости при высоких температурах.
Отличная коррозионная стойкость: вафельная лодка из карбида кремния высокой чистоты является ключевым инструментом в производстве полупроводников и обладает высокой устойчивостью к различным коррозийным агентам. Как надежный носитель он выдерживает воздействие высоких температур и коррозии в химической среде, обеспечивая безопасную и эффективную обработку пластин карбида кремния. Как надежный носитель он выдерживает воздействие высоких температур и коррозии в химической среде, обеспечивая безопасную и эффективную обработку пластин карбида кремния.
Размерная целостность: вафельные лодочки из карбида кремния высокой чистоты не дают усадки в процессе спекания, сохраняя размерную целостность и устраняя остаточные напряжения, которые могут привести к деформации или растрескиванию деталей. Это позволяет изготавливать детали сложной формы с точными размерами. Будь то производство полупроводниковых приборов или другие отрасли промышленности, вафельные лодочки из карбида кремния высокой чистоты обеспечивают надежный контроль размеров, чтобы гарантировать соответствие деталей спецификациям.
Являясь универсальным инструментом, лодочка для пластин из карбида кремния высокой чистоты VeTek Semiconductor может применяться в различных технологиях производства полупроводников, включая эпитаксиальный рост и химическое осаждение из паровой фазы. Прочная конструкция и инертный характер делают вафельную лодочку из карбида кремния высокой чистоты подходящей для различных химических процессов обработки, гарантируя, что она может плавно адаптироваться к различным технологическим средам.
В производстве полупроводников эпитаксиальный рост и химическое осаждение из паровой фазы являются обычными технологическими этапами, используемыми для выращивания высококачественных пластин и тонких пленок. Лодочка из карбида кремния высокой чистоты играет важную роль в качестве носителя, который может противостоять воздействию высоких температур и химикатов, обеспечивая точность процессов роста и осаждения.
Помимо прочной конструкции, лодочка из карбида кремния высокой чистоты еще и инертна. Это означает, что он не будет вступать в неблагоприятную реакцию с химическими веществами для обработки, тем самым сохраняя целостность и работоспособность лодки. Это дает производителям полупроводников надежный инструмент для обеспечения последовательности и повторяемости производственного процесса.
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
Свойство | Типичное значение |
Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
содержание карбида кремния | > 99,96% |
Бесплатный Si-контент | < 0,1% |
Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
Кажущаяся пористость | < 16% |
Сила сжатия | > 600 МПа |
Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль упругости | 240 ГПа |
Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |