Уникальные карбидные покрытия VeTek Semiconductor обеспечивают превосходную защиту графитовых деталей в процессе эпитаксии SiC при обработке требовательных полупроводниковых и композитных полупроводниковых материалов. Результатом является увеличение срока службы графитовых компонентов, сохранение стехиометрии реакции, ингибирование миграции примесей в эпитаксии и выращивании кристаллов, что приводит к увеличению выхода и качества.
Наши покрытия из карбида тантала (TaC) защищают критически важные компоненты печей и реакторов при высоких температурах (до 2200°C) от горячего аммиака, водорода, паров кремния и расплавленных металлов. VeTek Semiconductor обладает широким спектром возможностей обработки и измерения графита для удовлетворения ваших индивидуальных требований, поэтому мы можем предложить платное покрытие или полный спектр услуг, а наша команда опытных инженеров готова разработать правильное решение для вас и вашего конкретного применения. .
Сложные полупроводниковые кристаллы
VeTek Semiconductor может предоставить специальные покрытия TaC для различных компонентов и носителей. Благодаря передовому в отрасли процессу нанесения покрытия VeTek Semiconductor покрытие TaC может получить высокую чистоту, высокую температурную стабильность и высокую химическую стойкость, тем самым улучшая качество продукции кристаллических слоев TaC/GaN) и EPl, а также продлевая срок службы критически важных компонентов реактора.
Теплоизоляторы
Компоненты для выращивания кристаллов SiC, GaN и AlN, включая тигли, затравочные держатели, дефлекторы и фильтры. Промышленные сборки, включая резистивные нагревательные элементы, сопла, защитные кольца и приспособления для пайки, компоненты эпитаксиальных CVD-реакторов GaN и SiC, включая держатели пластин, сателлитные лотки, душевые насадки, колпачки и подставки, компоненты MOCVD.
Светодиод (светодиод) вафельный носитель
ALD (полупроводниковый) приемник
Рецептор EPI (процесс эпитаксии SiC)
Спутниковый токоприемник с покрытием TaC Датчик покрытия TaC и кольцо Детали с покрытием TaC Детали Halfmoon с покрытием TaC
Карбид кремния | ТаС | |
Основные характеристики | Сверхвысокая чистота, отличная стойкость к плазме | Превосходная стабильность при высоких температурах (соответствие технологическим процессам при высоких температурах) |
Чистота | >99,9999% | >99,9999% |
Плотность (г/см 3) | 3.21 | 15 |
Твердость (кг/мм 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Удельное сопротивление [Ом·см] | 0,1–15 000 | <1 |
Теплопроводность (Вт/м-К) | 200-360 | 22 |
Коэффициент теплового расширения (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Приложение | Полупроводниковое оборудование Керамическое приспособление (кольцо фокусировки, насадка для душа, пустая пластина) | Выращивание монокристаллов SiC, Эпи, УФ-светодиоды Детали оборудования |
VeTek Semiconductor является профессиональным производителем эпи-сунсцептора GaN на SiC, покрытия CVD SiC и графитового токоприемника CVD TAC COATING в Китае. Среди них эписуссептор GaN на SiC играет жизненно важную роль в обработке полупроводников. Благодаря своей превосходной теплопроводности, способности к высокотемпературной обработке и химической стабильности он обеспечивает высокую эффективность и качество материала процесса эпитаксиального выращивания GaN. Мы искренне надеемся на вашу дальнейшую консультацию.
Читать далееОтправить запросНоситель покрытия CVD TaC компании VeTek Semiconductor в основном предназначен для эпитаксиального процесса производства полупроводников. Сверхвысокая температура плавления носителя покрытия CVD TaC, превосходная коррозионная стойкость и выдающаяся термическая стабильность определяют незаменимость этого продукта в процессе эпитаксиальной полупроводниковой эпитаксии. Мы искренне надеемся построить с вами долгосрочные деловые отношения.
Читать далееОтправить запросНаправляющее кольцо с покрытием TaC компании VeTek Semiconductor создается путем нанесения покрытия из карбида тантала на графитовые детали с использованием передовой технологии, называемой химическим осаждением из паровой фазы (CVD). Этот метод хорошо зарекомендовал себя и обеспечивает исключительные свойства покрытия. Используя направляющее кольцо с покрытием TaC, можно значительно продлить срок службы графитовых компонентов, подавить перемещение графитовых примесей и надежно сохранить качество монокристаллов SiC и AIN. Добро пожаловать на запрос к нам.
Читать далееОтправить запросГрафитовый токоприемник с покрытием TaC компании VeTek Semiconductor использует метод химического осаждения из паровой фазы (CVD) для подготовки покрытия из карбида тантала на поверхности графитовых деталей. Этот процесс является наиболее зрелым и имеет лучшие свойства покрытия. Графитовый токоприемник с покрытием TaC может продлить срок службы графитовых компонентов, замедлить миграцию графитовых примесей и обеспечить качество эпитаксии. VeTek Semiconductor с нетерпением ждет вашего запроса.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor представляет датчик с покрытием TaC. Благодаря своему исключительному покрытию TaC этот токоприемник предлагает множество преимуществ, которые отличают его от традиционных решений. Легко интегрируясь в существующие системы, датчик с покрытием TaC от VeTek Semiconductor гарантирует совместимость и эффективную работу. Его надежная работа и высококачественное покрытие TaC неизменно обеспечивают исключительные результаты в процессах эпитаксии SiC. Мы стремимся предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам и надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросВращающаяся пластина с покрытием TaC компании VeTek Semiconductor может похвастаться выдающимся покрытием TaC. Благодаря исключительному покрытию TaC вращающаяся пластина с покрытием TaC обладает замечательной устойчивостью к высоким температурам и химической инертностью, что отличает ее от традиционных решений. Мы стремимся предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам. цены и надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос