Уникальные карбидные покрытия VeTek Semiconductor обеспечивают превосходную защиту графитовых деталей в процессе эпитаксии SiC при обработке требовательных полупроводниковых и композитных полупроводниковых материалов. Результатом является увеличение срока службы графитовых компонентов, сохранение стехиометрии реакции, ингибирование миграции примесей в эпитаксии и выращивании кристаллов, что приводит к увеличению выхода и качества.
Наши покрытия из карбида тантала (TaC) защищают критически важные компоненты печей и реакторов при высоких температурах (до 2200°C) от горячего аммиака, водорода, паров кремния и расплавленных металлов. VeTek Semiconductor обладает широким спектром возможностей обработки и измерения графита для удовлетворения ваших индивидуальных требований, поэтому мы можем предложить платное покрытие или полный спектр услуг, а наша команда опытных инженеров готова разработать правильное решение для вас и вашего конкретного применения. .
Сложные полупроводниковые кристаллы
VeTek Semiconductor может предоставить специальные покрытия TaC для различных компонентов и носителей. Благодаря передовому в отрасли процессу нанесения покрытия VeTek Semiconductor покрытие TaC может получить высокую чистоту, высокую температурную стабильность и высокую химическую стойкость, тем самым улучшая качество продукции кристаллических слоев TaC/GaN) и EPl, а также продлевая срок службы критически важных компонентов реактора.
Теплоизоляторы
Компоненты для выращивания кристаллов SiC, GaN и AlN, включая тигли, затравочные держатели, дефлекторы и фильтры. Промышленные сборки, включая резистивные нагревательные элементы, сопла, защитные кольца и приспособления для пайки, компоненты эпитаксиальных CVD-реакторов GaN и SiC, включая держатели пластин, сателлитные лотки, душевые насадки, колпачки и подставки, компоненты MOCVD.
Светодиод (светодиод) вафельный носитель
ALD (полупроводниковый) приемник
Рецептор EPI (процесс эпитаксии SiC)
Спутниковый токоприемник с покрытием TaC Датчик покрытия TaC и кольцо Детали с покрытием TaC Детали Halfmoon с покрытием TaC
Карбид кремния | ТаС | |
Основные характеристики | Сверхвысокая чистота, отличная стойкость к плазме | Превосходная стабильность при высоких температурах (соответствие технологическим процессам при высоких температурах) |
Чистота | >99,9999% | >99,9999% |
Плотность (г/см 3) | 3.21 | 15 |
Твердость (кг/мм 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Удельное сопротивление [Ом·см] | 0,1–15 000 | <1 |
Теплопроводность (Вт/м-К) | 200-360 | 22 |
Коэффициент теплового расширения (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Приложение | Полупроводниковое оборудование Керамическое приспособление (кольцо фокусировки, насадка для душа, пустая пластина) | Выращивание монокристаллов SiC, Эпи, УФ-светодиоды Детали оборудования |
Являясь профессиональным производителем и заводом в Китае, компания VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier представляет собой инструмент для переноски пластин, специально разработанный для высоких температур и агрессивных сред в производстве полупроводников. Этот продукт обладает высокой механической прочностью, отличной коррозионной стойкостью и термической стабильностью, что обеспечивает необходимую гарантию для изготовления полупроводниковых приборов высокого качества. Ваши дальнейшие запросы приветствуются.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором нагревателей покрытия TaC в Китае. Этот продукт имеет чрезвычайно высокую температуру плавления (около 3880°C). Высокая температура плавления нагревателя покрытия TaC позволяет ему работать при чрезвычайно высоких температурах, особенно при выращивании эпитаксиальных слоев нитрида галлия (GaN) в процессе химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD). VeTek Semiconductor стремится предоставлять передовые технологии и решения для полупроводниковой промышленности. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросЯвляясь профессиональным производителем и поставщиком патронов с покрытием TaC в Китае, патроны с покрытием TaC компании VeTek Semiconductor специально разработаны для полупроводниковых печей. Благодаря своей высокой термостойкости, химической инертности и превосходным характеристикам инновационная технология Vetek Semiconductor обеспечивает надежное решение для полупроводниковой промышленности, позволяющее обеспечить стандарты производства высокого качества. Мы верим, что наша продукция может принести вам передовые технологии и высококачественные решения.
Читать далееОтправить запросЯвляясь профессиональным производителем и поставщиком трубок с покрытием TaC в Китае, трубки с покрытием TaC компании VeTek Semiconductor являются ключевым компонентом для успешного выращивания монокристаллов карбида кремния. Благодаря своей высокой термостойкости, химической инертности и отличным характеристикам он обеспечивает производство высококачественных кристаллов со стабильными результатами. Доверьтесь нашим инновационным решениям, которые улучшат процесс выращивания кристаллов SiC методом PVT и добьются отличных результатов. Свяжитесь с нами.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor — ведущий производитель, новатор и лидер в области покрытий CVD TAC в Китае. В течение многих лет мы уделяем особое внимание различным продуктам с покрытием CVD TAC, таким как покрытие с покрытием CVD TaC, кольцо с покрытием CVD TaC, носитель покрытия CVD TaC и т. д. VeTek Semiconductor поддерживает индивидуальное обслуживание продуктов и удовлетворительные цены на продукцию и с нетерпением ждет вашего дальнейшего сотрудничества. консультация.
Читать далееОтправить запросVeTek Semiconductor является профессиональным производителем пластин с покрытием TaC и других запасных частей с покрытием TaC в Китае. Покрытие TaC в настоящее время в основном используется в таких процессах, как выращивание монокристаллов карбида кремния (метод PVT), эпитаксиальный диск (включая эпитаксия карбида кремния, светодиодная эпитаксия) и т. д. В сочетании с хорошей долговременной стабильностью пластины с покрытием TaC, VeTek Semiconductor TaC Пластина покрытия стала эталоном запасных частей TaC Coating. Мы надеемся, что вы станете нашим долгосрочным партнером.
Читать далееОтправить запрос