Держатель для лодок из карбида кремния высокой чистоты

VeTek Semiconductor предлагает индивидуальный держатель для пластин SiC высокой чистоты. Изготовленный из карбида кремния высокой чистоты, он имеет пазы, удерживающие пластину на месте и предотвращающие ее скольжение во время обработки. При необходимости также доступно покрытие CVD SiC. Являясь профессиональным и сильным производителем и поставщиком полупроводников, компания VeTek Semiconductor предлагает лодочный держатель для пластин SiC высокой чистоты, который отличается конкурентоспособной ценой и высоким качеством. VeTek Semiconductor надеется стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Отправить запрос

Описание продукта

Держатель пластин из карбида кремния высокой чистоты VeTekSemi является важным компонентом подшипника, используемым в печах отжига, диффузионных печах и другом оборудовании в процессе производства полупроводников. Держатель лодочки для пластин SiC высокой чистоты обычно изготавливается из карбида кремния высокой чистоты и в основном включает в себя следующие детали:

• Опорный корпус для лодки: конструкция, похожая на кронштейн, специально используемая для переноскикремниевые пластиныили другие полупроводниковые материалы.

• Структура поддержки: Конструкция опорной конструкции позволяет выдерживать большие нагрузки при высоких температурах и не деформируется и не повреждается во время высокотемпературной обработки.

silicon carbide material

материал карбида кремния

Физические свойстваРекристаллизованный карбид кремния：

Свойство	Типичное значение
Рабочая температура (°С)	1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
содержание карбида кремния	> 99,96%
Бесплатный Si-контент	< 0,1%
Объемная плотность	2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость	< 16%
Сила сжатия	> 600 МПа
Прочность на холодный изгиб	80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб	90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C	4,70*10^-6/°С
Теплопроводность при 1200°C	23 Вт/м•К
Модуль упругости	Модуль упругости240 ГПа
Устойчивость к термическому удару	Очень хорошо

Если требования к производственному процессу выше,CVD-покрытие SiCможет быть выполнено на держателе для пластин SiC высокой чистоты, чтобы достичь чистоты более 99,99995%, что еще больше улучшает его устойчивость к высоким температурам.

Основные физические свойства покрытия CVD SiC:

Свойство	Типичное значение
Кристаллическая структура	FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная
Плотность	3,21 г/см³
Твердость	Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г)
Размер зерна	2~10 мкм
Химическая чистота	99,99995%
Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
Температура сублимации	2700℃
изгибная прочность	415 МПа РТ 4-точечный
Модуль Юнга	Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃
Теплопроводность	300 Вт·м^-1·К^-1
Тепловое расширение (КТР)	4,5×10^-6K^-1

Во время высокотемпературной обработки держатель для пластин SiC высокой чистоты обеспечивает равномерный нагрев кремниевой пластины во избежание локального перегрева. Кроме того, высокая термостойкость карбидокремниевого материала позволяет ему сохранять структурную стабильность при температурах 1200°С и выше. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

Во время процесса диффузии или отжига консольная лопасть и держатель лодочки для пластин SiC высокой чистоты работают вместе.консольное весломедленно толкает лодочку для подложек SiC высокой чистоты, несущую кремниевую пластину, в камеру печи и останавливает ее в назначенном положении для обработки.

Держатель для вафельных лодочек из карбида кремния высокой чистоты поддерживает контакт с кремниевой пластиной и фиксируется в определенном положении во время процесса термообработки, а консольная лопасть помогает удерживать всю структуру в правильном положении, обеспечивая при этом однородность температуры.

Держатель пластин из карбида кремния высокой чистоты и консольная лопасть работают вместе, обеспечивая точность и стабильность высокотемпературного процесса.

ВеТек Полупроводникпредоставляет вам индивидуальный держатель для пластин SiC высокой чистоты в соответствии с вашими потребностями. С нетерпением ждем вашего запроса.

ВеТек ПолупроводникМагазины по производству вафельных лодок высокой чистоты SiC:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Горячие Теги: Держатель для вафельных лодок SiC высокой чистоты, Китай, Производитель, Поставщик, Фабрика, Индивидуальные, Купить, Усовершенствованный, Прочный, Сделано в Китае

Тег продукта

Связанная категория