Кольцо с тремя лепестками с покрытием TaC

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком трехлепесткового кольца с покрытием TaC в Китае. Трехлепестковое кольцо с покрытием TaC используется в системе осаждения Aixtron G10 для составных полупроводников, эпитаксии G10-GaN с высокой пропускной способностью 150/200 мм для силового и радиочастотного GaN. Приложения.

Покрытие VeTek Semiconductor TaC представляет собой новое поколение высокотемпературного материала с лучшей стабильностью при высоких температурах, чем SiC, поскольку коррозионно-стойкое покрытие, устойчивое к окислению покрытие, износостойкое покрытие может использоваться в среде выше 2000 ℃, широко используется в аэрокосмические сверхвысокотемпературные детали горячего конца, третье поколение выращивания монокристаллов полупроводников и другие области.

Особенности продукта:

1. Высокая чистота, содержание примесей <5 ppm.

2. Высокая термостойкость, коррозионная стойкость, высокая плотность, высокая плотность.

3. Он химически инертен по отношению к аммиаку, водороду, силану и кремнию при высоких температурах и обладает хорошей термической стабильностью.

4. Устойчивость к термическому удару позволяет ускорить рабочий цикл.

5. Сильная адгезия графита обеспечивает длительный срок службы и отсутствие расслоения покрытия.

6. Строгие допуски на размеры.

Основные приложения:

1. Эпитаксиальный рост

2. Рост монокристаллов

3. Отвлечение высокотемпературной коррозии

4. Высокотемпературное и устойчивое к окислению сопло.

5. Лопатки газовой турбины.

Параметры продукта трехлепесткового кольца с покрытием TaC

Цех полупроводникового производства ВеТек