Твердый носитель пластин SiC

Твердый носитель пластины SiC представляет собой компонент, изготовленный для работы в условиях высокой температуры, высокого давления и агрессивной среды в процессе эпитаксиальной полупроводниковой продукции, и подходит для различных процессов производства пластин с требованиями высокой чистоты. 

Твердый держатель пластины SiC покрывает край пластины, защищает пластину и точно позиционирует ее, обеспечивая рост высококачественных эпитаксиальных слоев. Материалы SiC широко используются в таких процессах, как жидкофазная эпитаксия (LPE), химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD), благодаря их превосходной термической стабильности, коррозионной стойкости и превосходной теплопроводности. Твердый SiC-носитель для пластин VeTek Semiconductor был проверен в различных суровых условиях и может эффективно гарантировать стабильность и эффективность процесса эпитаксиального выращивания пластин.

Твердый носитель пластины SiCОсобенности продукта

● Сверхвысокая температурная стабильность.: Твердые носители пластин SiC могут оставаться стабильными при температурах до 1500°C и не склонны к деформации или растрескиванию.

● Превосходная стойкость к химической коррозии.: Благодаря использованию материалов из карбида кремния высокой чистоты он может противостоять коррозии, вызываемой различными химическими веществами, включая сильные кислоты, сильные щелочи и агрессивные газы, что продлевает срок службы носителя пластин.

●  Высокая теплопроводность: Твердые носители пластин SiC обладают превосходной теплопроводностью и могут быстро и равномерно рассеивать тепло во время процесса, помогая поддерживать стабильность температуры пластины и улучшать однородность и качество эпитаксиального слоя.

●  Низкое образование частиц.: Материалы SiC имеют естественную характеристику с низким уровнем образования частиц, что снижает риск загрязнения и может соответствовать строгим требованиям полупроводниковой промышленности к высокой чистоте.

Технические характеристики:

Почему стоит выбратьВеТек Полупроводниккольцо-носитель подложки из твердого SiC?

●  Надежность: После тщательного тестирования и фактической проверки конечными клиентами он может обеспечить долгосрочную и стабильную поддержку в экстремальных условиях и снизить риск прерывания процесса.

●  Высококачественные материалы.: изготовлен из материалов SiC высочайшего качества, поэтому каждый твердотельный держатель пластин SiC соответствует высоким отраслевым стандартам.

●  Услуга индивидуальной настройки: Поддержка настройки различных спецификаций и технических требований для удовлетворения конкретных потребностей процесса.

Если вам нужна дополнительная информация о продукте или чтобы разместить заказ, пожалуйста, свяжитесь с нами. Мы предоставим профессиональные консультации и решения, основанные на ваших конкретных потребностях, которые помогут вам повысить эффективность производства и снизить затраты на техническое обслуживание.

Магазины продукции для твердотельных пластин SiC: