Процесс химического осаждения из паровой фазы Твердое кольцо из карбида кремния

Кольцо с кромкой из твердого карбида кремния, обработанное CVD:

● Материал: Кольцо фокусировки изготовлено из твердого SiC, высокочистого и высокоэффективного керамического материала. Его производят с использованием таких методов, как высокотемпературное спекание или компактирование порошков SiC. Твердый материал SiC обеспечивает исключительную долговечность, устойчивость к высоким температурам и отличные механические свойства.

●  Преимущества: Кольцо CVD sic обеспечивает превосходную термическую стабильность, сохраняя свою структурную целостность даже в условиях высоких температур, возникающих в процессах сухого травления. Его высокая твердость обеспечивает устойчивость к механическим воздействиям и износу, что приводит к увеличению срока службы. Более того, твердый SiC обладает химической инертностью, защищая его от коррозии и сохраняя свои эксплуатационные характеристики с течением времени.

CVD-покрытие SiC:

●  Материал: Покрытие SiC CVD представляет собой нанесение тонкой пленки SiC с использованием методов химического осаждения из паровой фазы (CVD). Покрытие наносится на материал подложки, такой как графит или кремний, для придания поверхности свойств SiC.

●  Сравнение: Хотя покрытия CVD SiC обладают некоторыми преимуществами, такими как конформное осаждение на сложные формы и настраиваемые свойства пленки, они могут не соответствовать прочности и характеристикам твердого SiC. Толщина покрытия, кристаллическая структура и шероховатость поверхности могут варьироваться в зависимости от параметров процесса CVD, что потенциально влияет на долговечность покрытия и общие характеристики.

Таким образом, твердое SiC-фокусировочное кольцо VeTek Semiconductor является исключительным выбором для задач сухого травления. Его твердый материал SiC обеспечивает устойчивость к высоким температурам, отличную твердость и химическую инертность, что делает его надежным и долговечным решением. В то время как покрытие CVD SiC обеспечивает гибкость при нанесении, кольцо CVD sic превосходно обеспечивает непревзойденную долговечность и производительность, необходимые для сложных процессов сухого травления.

Физические свойства твердого SiC