Твердая газовая душевая головка SiC

Твердая газовая душевая головка SiC

VeTek Semiconductor — интегрированная компания, занимающаяся исследованиями, производством и продажами. Имея более чем 20-летний опыт, наша команда специализируется на покрытиях SiC, TaC и CVD Solid SiC. Добро пожаловать на покупку у нас газовой душевой насадки из твердого карбида кремния.

Газовая душевая головка VeTek Semiconductor Solid SiC обычно используется для равномерного распределения газов-прекурсоров на поверхности подложки во время процессов CVD полупроводников. Использование материала CVD-SiC для душевых насадок дает ряд преимуществ. Его высокая теплопроводность помогает рассеивать тепло, выделяемое в процессе CVD, обеспечивая равномерное распределение температуры на подложке. Кроме того, химическая стабильность душевой насадки CVD sic позволяет ей противостоять агрессивным газам и агрессивным средам, обычно встречающимся в процессах CVD. 

Конструкция душевых насадок CVD SiC может быть адаптирована к конкретным системам CVD и технологическим требованиям. Однако они обычно состоят из пластинчатого или дискообразного компонента с рядом прецизионно просверленных отверстий или пазов. Расположение и геометрия отверстий тщательно разработаны, чтобы обеспечить равномерное распределение газа и скорость потока по поверхности подложки.

Физические свойства твердого SiC