VeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором душевых насадок CVD SiC в Китае. Мы уже много лет специализируемся на материалах SiC. Душевая насадка CVD SiC выбрана в качестве материала фокусирующего кольца из-за ее превосходной термохимической стабильности, высокой механической прочности и устойчивости к плазменная эрозия. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Вы можете быть уверены, что купите душевую насадку CVD SiC на нашем заводе. Душевая насадка VeTek Semiconductor CVD SiC изготовлена из твердого карбида кремния (SiC) с использованием передовых методов химического осаждения из паровой фазы (CVD). Карбид кремния выбран из-за его исключительной теплопроводности, химической стойкости и механической прочности, что идеально подходит для крупногабаритных компонентов из карбида кремния, таких как насадка для душа CVD SiC.
Насадка для душа CVD SiC, разработанная для производства полупроводников, выдерживает высокие температуры и плазменную обработку. Точный контроль потока газа и превосходные свойства материала обеспечивают стабильность процессов и долгосрочную надежность. Использование CVD SiC улучшает терморегулирование и химическую стабильность, улучшая качество и производительность полупроводниковой продукции.
Душевая насадка CVD SiC повышает эффективность эпитаксиального роста за счет равномерного распределения технологических газов и защиты камеры от загрязнения. Он эффективно решает такие проблемы производства полупроводников, как контроль температуры, химическая стабильность и согласованность процессов, предоставляя клиентам надежные решения.
Душевая насадка CVD SiC, используемая в системах MOCVD, эпитаксии Si и эпитаксии SiC, обеспечивает производство высококачественных полупроводниковых устройств. Его решающая роль обеспечивает точный контроль и стабильность процесса, удовлетворяя разнообразные требования клиентов к высокопроизводительной и надежной продукции.
Физические свойства твердого SiC | |||
Плотность | 3.21 | г/см3 | |
Сопротивление электричества | 102 | Ом/см | |
Предел прочности при изгибе | 590 | МПа | (6000кгс/см2) |
Модуль для младших | 450 | ГПа | (6000кгс/мм2) |
Твердость по Виккерсу | 26 | ГПа | (2650кгс/мм2) |
К.Т.Э.(RT-1000℃) | 4.0 | х10-6/К | |
Теплопроводность (RT) | 250 | Вт/мК |