Карбид-насадка для душа

Вы можете быть уверены, что купите душевую насадку SiC на нашем заводе.

Карбидокремниевые материалы обладают уникальным сочетанием превосходных тепловых, электрических и химических свойств, что делает их идеальными для применения в полупроводниковой промышленности, где требуются материалы с высокими эксплуатационными характеристиками.

Революционная технология VeTek Semiconductor позволяет производить душевые головки SiC, материал из карбида кремния сверхвысокой чистоты, созданный в процессе химического осаждения из паровой фазы.

Душевая головка SiC — важнейший компонент в производстве полупроводников, специально разработанный для систем MOCVD, эпитаксии кремния и процессов эпитаксии SiC. Изготовленный из прочного твердого карбида кремния (SiC), этот компонент может выдерживать экстремальные условия плазменной обработки и высокотемпературного применения.

Карбид кремния (SiC) известен своей высокой теплопроводностью, стойкостью к химической коррозии и исключительной механической прочностью, что делает его идеальным материалом для объемных компонентов SiC, таких как душевая головка SiC. Газовая душевая головка обеспечивает равномерное распределение технологических газов по поверхности пластины, что важно для получения качественных эпитаксиальных слоев. Кольца фокусировки и краевые кольца, часто изготовленные из CVD-SiC, поддерживают равномерное распределение плазмы и защищают камеру от загрязнения, повышая эффективность и выход эпитаксиального роста.

Благодаря точному контролю потока газа и выдающимся свойствам материала насадка SiC Shower Head является ключевым компонентом в современной обработке полупроводников, поддерживая передовые приложения в области эпитаксии кремния и эпитаксии SiC.

VeTek Semiconductor предлагает душевую головку из спеченного полупроводника из карбида кремния с низким удельным сопротивлением. У нас есть возможность разрабатывать и поставлять передовые керамические материалы по индивидуальному заказу, используя множество уникальных возможностей.

Параметры продукта насадки для душа SiC:

Производственный цех