Опорное кольцо с покрытием SiC

ВеТек Полупроводник, ведущий производитель и поставщик в Китае, специализируется на производстве широкого спектра продукции, включаяОпорные кольца с покрытием SiC, CVD-покрытия из карбида кремния, покрытия из карбида тантала, объемный SiC, порошки SiC и материалы SiC высокой чистоты. Наша цель заключается в предоставлении комплексной технической помощи и оптимальных решений для продуктов, адаптированных для полупроводникового сектора. Не стесняйтесь обращаться к нам за дополнительной информацией и помощью.

ВеТек ПолупроводникхОпорные кольца с покрытием SiCпредставляют собой новое поколение материалов, устойчивых к высоким температурам. В качестве коррозионно-стойких покрытий, устойчивых к окислению покрытий и износостойких покрытий они могут использоваться в средах выше 1650 ℃ и широко используются в полупроводниковой промышленности.

Высококачественные характеристикиОпорные кольца с покрытием SiCиграют очень важную роль в эпитаксиальном выращивании полупроводниковых компонентов третьего поколения.

Поддержание однородности температуры: Опорные кольца с покрытием SiC обладают превосходной теплопроводностью и могут обеспечить равномерное распределение температуры во время эпитаксиального роста. Это помогает уменьшить температурные градиенты и напряжения на поверхности пластины, тем самым улучшая качество эпитаксиального слоя.

Чрезвычайная химическая стабильность: В процессе эпитаксиального ростаОпорные кольца с покрытием SiCспособны противостоять химическому воздействию реакционных газов, продлевая срок службы опорных колец и сохраняя целостность процесса. Такая химическая стабильность помогает снизить риск загрязнения и повысить чистоту и производительность полупроводниковых устройств.

Точное позиционирование: Опорные кольца с покрытием SiC способны поддерживать точное позиционирование пластины, что имеет решающее значение для достижения равномерного осаждения слоя. Такое точное позиционирование помогает обеспечить постоянство толщины и качества эпитаксиального слоя.

Основные физические свойства покрытия CVD SiC:

Цех по производству полупроводников ВеТек:

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов: