Дом > Продукты > Покрытие из карбида кремния

Китай Покрытие из карбида кремния Производитель,Поставщик,Завод

VeTek Semiconductor специализируется на производстве продуктов с покрытиями из сверхчистого карбида кремния. Эти покрытия предназначены для нанесения на очищенный графит, керамику и компоненты из тугоплавких металлов.


Наши покрытия высокой чистоты в первую очередь предназначены для использования в полупроводниковой и электронной промышленности. Они служат защитным слоем для носителей пластин, токоприемников и нагревательных элементов, защищая их от агрессивных и реактивных сред, возникающих в таких процессах, как MOCVD и EPI. Эти процессы являются неотъемлемой частью обработки пластин и производства устройств. Кроме того, наши покрытия хорошо подходят для применения в вакуумных печах и нагревании образцов, где встречаются условия высокого вакуума, реактивные и кислородные среды.


В VeTek Semiconductor мы предлагаем комплексное решение с использованием наших передовых возможностей механического цеха. Это позволяет нам производить базовые компоненты с использованием графита, керамики или тугоплавких металлов и наносить керамические покрытия SiC или TaC собственными силами. Мы также предоставляем услуги по нанесению покрытий на детали, поставляемые заказчиком, обеспечивая гибкость для удовлетворения разнообразных потребностей.


Наши продукты с покрытием из карбида кремния широко используются в эпитаксии Si, эпитаксии SiC, системе MOCVD, процессе RTP/RTA, процессе травления, процессе травления ICP/PSS, процессах различных типов светодиодов, включая синие и зеленые светодиоды, УФ-светодиоды и глубокие УФ-светодиоды. Светодиод и т. д., адаптированный к оборудованию LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и так далее.


Детали реактора, которые мы можем сделать:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Покрытие из карбида кремния имеет ряд уникальных преимуществ:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Параметры покрытия из карбида кремния VeTek Semiconductor

Основные физические свойства покрытия CVD SiC
Свойство Типичное значение
Кристаллическая структура FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная
Карбид кремния Плотность покрытия 3,21 г/см³
Покрытие SiCТвердость Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г)
Размер зерна 2~10 мкм
Химическая чистота 99,99995%
Теплоемкость 640 Дж·кг-1·К-1
Температура сублимации 2700℃
изгибная прочность 415 МПа РТ 4-точечный
Модуль Юнга Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃
Теплопроводность 300 Вт·м-1·К-1
Тепловое расширение (КТР) 4,5×10-6К-1

КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА ПЛЕНКИ CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Эпитаксиальный токоприемник GaN на основе кремния

Эпитаксиальный токоприемник GaN на основе кремния

Эпитаксиальный датчик GaN на основе кремния является основным компонентом, необходимым для производства эпитаксиального GaN. VeTek Semiconductor, как профессиональный производитель и поставщик, стремится предоставлять высококачественные эпитаксиальные датчики GaN на основе кремния. Наш эпитаксиальный токоприемник GaN на основе кремния разработан для эпитаксиальных реакторных систем GaN на основе кремния и отличается высокой чистотой, превосходной устойчивостью к высоким температурам и коррозионной стойкостью. VeTek Semiconductor стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам. Добро пожаловать на запрос.

Читать далееОтправить запрос
8-дюймовая деталь Halfmoon для реактора LPE

8-дюймовая деталь Halfmoon для реактора LPE

VeTek Semiconductor — ведущий производитель полупроводникового оборудования в Китае, специализирующийся на исследованиях, разработках и производстве 8-дюймовых полумесяцев для реактора LPE. За прошедшие годы мы накопили богатый опыт, особенно в области материалов покрытия SiC, и стремимся предоставить эффективные решения, адаптированные для эпитаксиальных реакторов LPE. Наша 8-дюймовая деталь в форме полумесяца для реактора ЖПЭ обладает превосходными характеристиками и совместимостью и является незаменимым ключевым компонентом в эпитаксиальном производстве. Приветствуем ваш запрос, чтобы узнать больше о нашей продукции.

Читать далееОтправить запрос
Блинный токоприемник с покрытием из карбида кремния для пластин LPE PE3061S 6 дюймов

Блинный токоприемник с покрытием из карбида кремния для пластин LPE PE3061S 6 дюймов

Блинчатый токоприемник с покрытием из карбида кремния для 6-дюймовых пластин LPE PE3061S является одним из основных компонентов, используемых при эпитаксиальной обработке 6-дюймовых пластин. VeTek Semiconductor в настоящее время является ведущим производителем и поставщиком блинчатых токоприемников с SiC-покрытием для 6-дюймовых пластин LPE PE3061S в Китае. Блинчатый токоприемник с покрытием SiC обладает превосходными характеристиками, такими как высокая коррозионная стойкость, хорошая теплопроводность и хорошая однородность. С нетерпением ждем вашего запроса.

Читать далееОтправить запрос
Поддержка с покрытием SiC для LPE PE2061S

Поддержка с покрытием SiC для LPE PE2061S

VeTek Semiconductor является ведущим производителем и поставщиком опор с SiC-покрытием для LPE PE2061S в Китае. Подложка с покрытием SiC для LPE PE2061S подходит для кремниевого эпитаксиального реактора LPE. В нижней части основания корпуса опора с покрытием SiC для LPE PE2061S выдерживает высокие температуры до 1600 градусов Цельсия, тем самым обеспечивая сверхдлительный срок службы продукта и снижая затраты клиентов. С нетерпением ждем вашего запроса и дальнейшего общения.

Читать далееОтправить запрос
Верхняя пластина с покрытием SiC для LPE PE2061S

Верхняя пластина с покрытием SiC для LPE PE2061S

VeTek Semiconductor уже много лет активно занимается производством продуктов с покрытием SiC и стала ведущим производителем и поставщиком верхней пластины с покрытием SiC для LPE PE2061S в Китае. Поставляемая нами верхняя пластина с покрытием SiC для LPE PE2061S предназначена для кремниевых эпитаксиальных реакторов LPE и расположена сверху вместе с основанием цилиндра. Эта верхняя пластина с покрытием SiC для LPE PE2061S обладает превосходными характеристиками, такими как высокая чистота, отличная термическая стабильность и однородность, что помогает выращивать высококачественные эпитаксиальные слои. Независимо от того, какой продукт вам нужен, мы с нетерпением ждем вашего запроса.

Читать далееОтправить запрос
Токоприемник ствола с покрытием SiC для LPE PE2061S

Токоприемник ствола с покрытием SiC для LPE PE2061S

Являясь одним из ведущих заводов по производству пластин-приемников в Китае, компания VeTek Semiconductor добилась постоянного прогресса в производстве пластин-приемников и стала первым выбором для многих производителей эпитаксиальных пластин. Баррельный токоприемник с покрытием SiC для LPE PE2061S, поставляемый VeTek Semiconductor, предназначен для 4-дюймовых пластин LPE PE2061S. Токоприемник имеет прочное покрытие из карбида кремния, которое повышает производительность и долговечность во время процесса LPE (жидкофазной эпитаксии). Приветствуем ваш запрос, мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером.

Читать далееОтправить запрос
Являясь профессиональным производителем и поставщиком Покрытие из карбида кремния в Китае, мы располагаем собственным заводом. Если вам нужны индивидуальные услуги, отвечающие конкретным потребностям вашего региона, или вы хотите купить передовые и надежные Покрытие из карбида кремния, произведенные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept