Поддержка с покрытием SiC для LPE PE2061S

VeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором поддержки с покрытием SiC для LPE PE2061S в Китае. Мы уже много лет специализируемся на материалах покрытия SiC. Мы предлагаем поддержку с покрытием SiC для LPE PE2061S, разработанную специально для реактора кремниевой эпитаксии LPE. Эта опора с покрытием SiC для LPE PE2061S представляет собой нижнюю часть токоприемника ствола. Она выдерживает высокую температуру 1600 градусов по Цельсию, продлевает срок службы графитовой запасной части. Добро пожаловать, чтобы отправить нам запрос.

Отправить запрос

Описание продукта

Высококачественную опору с покрытием SiC для LPE PE2061S предлагает китайский производитель VeTek Semiconductor. Купите опору с покрытием SiC для LPE PE2061S, которая отличается высоким качеством напрямую и по низкой цене.

Опора VeTeK Semiconductor с SiC-покрытием для LPE PE2061S в оборудовании для эпитаксии кремния, используемая в сочетании с токоприемником бочкообразного типа для поддержки и удержания эпитаксиальных пластин (или подложек) во время процесса эпитаксиального роста.

Нижняя пластина в основном используется с цилиндрической эпитаксиальной печью, цилиндрическая эпитаксиальная печь имеет большую реакционную камеру и более высокую эффективность производства, чем плоский эпитаксиальный токоприемник.

Опора имеет конструкцию с круглым отверстием и в основном используется для вывода выхлопных газов внутри реактора.

Полупроводниковая опора VeTeK с покрытием SiC для LPE PE2061S предназначена для реакторной системы жидкофазной эпитаксии (LPE) с высокой чистотой, равномерным покрытием, высокотемпературной стабильностью, коррозионной стойкостью, высокой твердостью, отличной теплопроводностью, низким коэффициентом теплового расширения и химической инертностью. .

Основные физические свойства покрытия CVD SiC:

Основные физические свойства покрытия CVD SiC
Свойство	Типичное значение
Кристальная структура	FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная
Плотность	3,21 г/см³
Твердость	Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г)
Размер зерна	2~10 мкм
Химическая чистота	99,99995%
Теплоемкость	640 Дж·кг-1·К-1
Температура сублимации	2700℃
Предел прочности при изгибе	415 МПа РТ 4-точечный
Модуль для младших	Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃
Теплопроводность	300Вт·м-1·К-1
Тепловое расширение (КТР)	4,5×10-6К-1

Цех полупроводникового производства ВеТек

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов:

Горячие Теги: Поддержка с покрытием SiC для LPE PE2061S, Китай, Производитель, Поставщик, Фабрика, Индивидуальный, Купить, Расширенный, Прочный, Сделано в Китае

Тег продукта

Связанная категория