Графитовый бочонок с SiC-покрытием для EPI

VeTek Semiconductor - китайский производитель и поставщик, который в основном производит токоприемники из графита с покрытием SiC для EPI с многолетним опытом. Надеюсь построить деловые отношения с вами. EPI (эпитаксии) — важнейший процесс в производстве современных полупроводников. Он предполагает нанесение тонких слоев материала на подложку для создания сложных структур устройства. Графитовые цилиндрические токоприемники с покрытием из SiC для EPI обычно используются в качестве токоприемников в реакторах EPI из-за их превосходной теплопроводности и устойчивости к высоким температурам. Благодаря покрытию CVD-SiC он становится более устойчивым к загрязнению, эрозии и тепловому удару. Это приводит к увеличению срока службы токоприемника и улучшению качества пленки.

Преимущества нашего токоприемника с графитовым бочонком с покрытием SiC:

Снижение загрязнения: инертная природа карбида кремния предотвращает прилипание примесей к поверхности токоприемника, снижая риск загрязнения осажденных пленок.

Повышенная стойкость к эрозии: SiC значительно более устойчив к эрозии, чем обычный графит, что приводит к увеличению срока службы токоприемника.

Улучшенная термическая стабильность: SiC обладает превосходной теплопроводностью и может выдерживать высокие температуры без значительных искажений.

Улучшенное качество пленки. Улучшенная термическая стабильность и снижение загрязнения приводят к получению более качественных напыляемых пленок с улучшенной однородностью и контролем толщины.

Приложения:

Графитовые цилиндрические токоприемники с покрытием SiC широко используются в различных приложениях EPI, в том числе:

Светодиоды на основе GaN

Силовая электроника

Оптоэлектронные устройства

Высокочастотные транзисторы

Датчики

Параметры продукта токоприемника с графитовым бочонком с покрытием SiC

Примечание. Перед нанесением покрытия мы проведем первую очистку, после нанесения покрытия проведем вторую очистку.

Цех полупроводникового производства ВеТек