Дом > Продукты > Покрытие из карбида кремния > Кремниевая эпитаксия > Отражатель графитового тигля с покрытием SiC
Отражатель графитового тигля с покрытием SiC
  • Отражатель графитового тигля с покрытием SiCОтражатель графитового тигля с покрытием SiC
  • Отражатель графитового тигля с покрытием SiCОтражатель графитового тигля с покрытием SiC

Отражатель графитового тигля с покрытием SiC

VeTek Semiconductor имеет многолетний опыт производства высококачественных дефлекторов для тиглей с графитовым покрытием SiC. У нас есть собственная лаборатория для исследований и разработок материалов, мы можем поддержать ваши индивидуальные разработки с превосходным качеством. Мы приглашаем вас посетить нашу фабрику для более подробного обсуждения.

Отправить запрос

Описание продукта

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком дефлекторов для тиглей с графитовым покрытием из карбида кремния в Китае. Дефлектор тигля с графитовым покрытием SiC является важнейшим компонентом оборудования монокристаллической печи, задача которого плавно направлять расплавленный материал из тигля в зону роста кристаллов, обеспечивая качество и форму роста монокристаллов.


Функции нашего дефлектора тигля с графитовым покрытием SiC:

Контроль потока: он направляет поток расплавленного кремния во время процесса Чохральского, обеспечивая равномерное распределение и контролируемое движение расплавленного кремния, чтобы способствовать росту кристаллов.

Регулирование температуры: помогает регулировать распределение температуры внутри расплавленного кремния, обеспечивая оптимальные условия для роста кристаллов и сводя к минимуму температурные градиенты, которые могут повлиять на качество монокристаллического кремния.

Предотвращение загрязнения: контроль потока расплавленного кремния помогает предотвратить загрязнение из тигля или других источников, поддерживая высокую чистоту, необходимую для полупроводниковых применений.

Стабильность: дефлектор способствует стабильности процесса роста кристаллов, уменьшая турбулентность и обеспечивая устойчивый поток расплавленного кремния, что имеет решающее значение для достижения однородных свойств кристаллов.

Облегчение роста кристаллов: направляя расплавленный кремний контролируемым образом, дефлектор облегчает рост монокристалла из расплавленного кремния, что важно для производства высококачественных пластин монокристаллического кремния, используемых в производстве полупроводников.


Параметры продукта дефлектора тигля с графитовым покрытием SiC

Физические свойства изостатического графита
Свойство Единица Типичное значение
Объемная плотность г/см³ 1.83
Твердость HSD 58
Электрическое сопротивление мОм·м 10
Предел прочности при изгибе МПа 47
Прочность на сжатие МПа 103
Предел прочности МПа 31
Модуль для младших ГПа 11.8
Тепловое расширение (КТР) 10-6К-1 4.6
Теплопроводность Вт·м-1·К-1 130
Средний размер зерна мкм 8-10
Пористость % 10
Содержание пепла ppm ≤10 (после очистки)

Примечание. Перед нанесением покрытия мы проведем первую очистку, после нанесения покрытия проведем вторую очистку.


Основные физические свойства покрытия CVD SiC
Свойство Типичное значение
Кристальная структура FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная
Плотность 3,21 г/см³
Твердость Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г)
Размер зерна 2~10 мкм
Химическая чистота 99,99995%
Теплоемкость 640 Дж·кг-1·К-1
Температура сублимации 2700℃
Предел прочности при изгибе 415 МПа РТ 4-точечный
Модуль для младших Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃
Теплопроводность 300Вт·м-1·К-1
Тепловое расширение (КТР) 4,5×10-6К-1


Цех полупроводникового производства ВеТек


Горячие Теги: Дефлектор тигля с графитовым покрытием SiC, Китай, Производитель, Поставщик, Фабрика, Индивидуальный, Купить, Усовершенствованный, Прочный, Сделано в Китае
Связанная категория
Отправить запрос
Пожалуйста, не стесняйтесь дать свой запрос в форме ниже. Мы ответим вам в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept