получатель РПИ

VeTek Semiconductor является профессиональным ведущим производителем приемников EPI в Китае, планетарных приемников ALD, графитовых приемников с покрытием TaC.

EPI-суцептор VeTek Semiconductor является важным компонентом эпитаксиального роста в процессе производства полупроводников. Его основная функция — поддерживать и нагревать пластину, чтобы на поверхности пластины можно было равномерно вырастить высококачественный эпитаксиальный слой.

EPI-приемники VeTek Semiconductors обычно изготавливаются из графита высокой чистоты и покрываются слоем карбида кремния (SiC). Данная конструкция имеет следующие ключевые преимущества:

Высокая температурная стабильность: Суцептор EPI может оставаться стабильным в условиях высокой температуры, обеспечивая равномерный рост эпитаксиального слоя.

Коррозионная стойкость: Покрытие SiC обладает превосходной коррозионной стойкостью и устойчивостью к эрозии химическими газами, продлевая срок службы лотка.

Теплопроводность: Высокая теплопроводность материала SiC обеспечивает равномерное распределение температуры пластины во время нагрева, тем самым улучшая качество эпитаксиального слоя.

Согласование коэффициента теплового расширения: Коэффициент теплового расширения SiC аналогичен коэффициенту теплового расширения графита, что позволяет избежать проблемы отслаивания покрытия из-за теплового расширения и сжатия.

Основные физические свойстваполучатель РПИ:

Цех по производству CVD-покрытий SiC:

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов: