получатель РПИ

EPI-приемник VeTek Semiconductor предназначен для требовательных применений в эпитаксиальном оборудовании. Его графитовая структура с покрытием из карбида кремния высокой чистоты (SiC) обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпитаксиального слоя, а также длительную химическую стойкость. Мы надеемся на сотрудничество с вами.

Отправить запрос

Описание продукта

VeTek Semiconductor является профессиональным ведущим производителем приемников EPI в Китае, планетарных приемников ALD и графитовых приемников с покрытием TaC. и наш рецептор EPI является важным компонентомэпитаксиальный ростВ процессе производства полупроводников. Его основная функция — поддерживать и нагревать пластину, чтобы на поверхности пластины можно было равномерно вырастить высококачественный эпитаксиальный слой.

EPI-суцепторы VeTek Semiconductors обычно изготавливаются из графита высокой чистоты и покрываются слоем карбида кремния (SiC).Эта конструкция имеет следующие ключевые преимущества:

● Высокая температурная стабильность.: Токоприемник EPI может оставаться стабильным в условиях высокой температуры, обеспечивая равномерный рост эпитаксиального слоя.

● Устойчивость к коррозии: Покрытие SiC обладает превосходной коррозионной стойкостью и устойчивостью к эрозии химическими газами, продлевая срок службы лотка.

● Теплопроводность: Высокая теплопроводность материала SiC обеспечивает равномерное распределение температуры пластины во время нагрева, тем самым улучшая качество эпитаксиального слоя.

● Согласование коэффициента теплового расширения: Коэффициент теплового расширения SiC аналогичен коэффициенту теплового расширения графита, что позволяет избежать проблемы отслаивания покрытия из-за теплового расширения и сжатия.