Керамическое покрытие из карбида кремния

Ветек Полупроводник Керамическое покрытие из карбида кремнияпредставляет собой высокоэффективное защитное покрытие, изготовленное из чрезвычайно твердого и износостойкого материала карбида кремния (SiC), которое обеспечивает превосходную стойкость к химической коррозии и высокую температурную стабильность. Эти свойства имеют решающее значение в производстве полупроводников, поэтому керамическое покрытие из карбида кремния широко используется в ключевых компонентах оборудования для производства полупроводников.

Особая роль, которую играет керамическое покрытие из карбида кремния Vetek Semiconductor в производстве полупроводников.следующее:

Повышение долговечности оборудования: Керамическое покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходную защиту поверхности оборудования для производства полупроводников благодаря своей чрезвычайно высокой твердости и износостойкости. Керамическое покрытие из карбида кремния может эффективно предотвратить повреждение поверхности оборудования из-за химической эрозии или физического износа, особенно в высокотемпературных и агрессивных технологических средах, таких как химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и плазменное травление, тем самым значительно продлевая срок службы. оборудование и сокращение времени простоя, вызванного частой заменой и техническим обслуживанием.

Повышение чистоты процесса: В процессе производства полупроводников любое незначительное загрязнение может привести к дефектам продукта. Химическая инертность керамического покрытия из карбида кремния позволяет ему оставаться стабильным в экстремальных условиях, предотвращать выделение из материала частиц или примесей и обеспечивать чистоту окружающей среды во время процесса. Это особенно важно для производственных этапов, требующих высокой точности и высокой чистоты, таких как PECVD и ионная имплантация.

Оптимизация управления температурным режимом: При высокотемпературной обработке полупроводников, такой как быстрая термическая обработка (RTP) и процессы окисления, высокая теплопроводность керамического покрытия из карбида кремния обеспечивает равномерное распределение температуры внутри оборудования. Это помогает снизить термическое напряжение и деформацию материала, вызванные колебаниями температуры, тем самым повышая точность и стабильность производства продукции.

Поддержка сложной технологической среды: В процессах, требующих сложного контроля атмосферы, таких как процессы травления ICP и PSS, стабильность и стойкость к окислению нагревателя керамического покрытия из карбида кремния обеспечивают стабильную работу оборудования в долгосрочной эксплуатации, снижая риск деградации материала или оборудования. ущерб, вызванный изменениями окружающей среды.

Ветек Полупроводникфокусируется на производстве и поставке высокопроизводительныхКерамическое покрытие из карбида кремнияи стремится предоставлять передовые технологии и решения для полупроводниковой промышленности.Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае..

Основные физические свойстваКерамическое покрытие из карбида кремния:

VeTek Semiconductor Цехи керамических покрытий из карбида кремния:

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов: