Графитовый нагреватель горячей зоны

Графитовые нагреватели горячей зоны VeTek Semiconductor предназначены для работы в экстремальных условиях, возникающих в высокотемпературных печах. Нагреватели способны выдерживать суровые условия, обычно встречающиеся при высокотемпературной обработке, в зависимости от конкретных характеристик продукта, перечисленных ниже.

Равномерное распределение температуры: Графитовый нагреватель Hot Zone известен своими превосходными характеристиками равномерного нагрева благодаря идеальному сочетанию высокоточного выбора материала и прецизионной технологии обработки. Такая однородность обеспечивает плавное распределение температуры по всей поверхности нагрева, эффективно уменьшая неравномерность обработки пластин из-за температурных градиентов, тем самым улучшая выход продукта и стабильность работы оборудования.

Отличная коррозионная стойкость: графитовый нагреватель для горячей зоны демонстрирует высокую устойчивость к различным агрессивным газам и химическим веществам, встречающимся в высокотемпературных процессах производства полупроводников. Природная инертность графитовых материалов позволяет графитовым нагревателям сохранять длительную стабильность в суровых условиях окружающей среды, значительно снижая риск загрязнения и продлевая срок службы оборудования.

Отличные антиокислительные характеристики: По сравнению с традиционными графитовыми материалами графитовый нагреватель Hot Zone по-прежнему обладает превосходной антиокислительной способностью при высоких температурах. Эта функция имеет решающее значение для предотвращения окислительного разрушения поверхности нагревателя во время высокотемпературной обработки и предотвращения образования частиц загрязнения в камере обработки, обеспечивая длительную эффективную работу оборудования.

Сверхвысокая химическая чистота: После строгой обработки наш графитовый нагреватель достиг чрезвычайно высокого уровня химической чистоты, эффективно предотвращая попадание вредных примесей в среду обработки полупроводников. Эта чистота имеет решающее значение для защиты целостности прецизионных полупроводниковых материалов и производства устройств, соответствующих ожидаемым электрическим и оптическим свойствам.

Высокая механическая прочность и стабильность: Графитовый нагреватель Hot Zone от VeTekSemi обладает превосходной механической прочностью и стабильностью размеров, сохраняя структурную целостность даже в условиях эксплуатации при высоких температурах. Независимо от того, сталкиваются ли они с частыми термическими циклами или тяжелыми механическими нагрузками, графитовые нагреватели для горячей зоны сохраняют свою прочность и обеспечивают надежную и надежную поддержку в суровых условиях обработки полупроводников.

Кроме того, VeTeksemi также предлагает графитовые нагреватели различных размеров и конфигураций для удовлетворения потребностей различных процессов производства полупроводников. такой какsic керамическое покрытие графитобогреватель、Нагреватель VEECO MOCVDи т. д.  VeTek Semiconductor стремится предоставлять передовые и настраиваемые технологии и решения для полупроводниковой промышленности. Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.