нагреватель с керамическим покрытием из карбида кремния

ВеТек ПолупроводникНагреватель с керамическим покрытием из карбида кремния — это нагреватель, предназначенный для высоких температур и суровых условий. Он покрывает слой кремний-углеродного керамического покрытия (SiC) на поверхности нагревательного элемента, чтобы придать оборудованию превосходную термостойкость, коррозионную стойкость и теплопроводность. 

Нагреватель с керамическим покрытием из карбида кремнияв основном используется в оборудовании для вакуумного нанесения покрытия (испарения). Обычно используемыми методами являются PCD (плазменно-химическая сушка) и PVD (физическое осаждение из паровой фазы), которые широко используются в производстве полупроводников и других востребованных промышленных приложениях.

В сочетании с высокоэффективной конструкцией покрытия нагревателя керамического покрытия из карбида кремния,он может стать отличным решением для обогрева высокотемпературных процессов..

Отличная теплопроводность: материал SiC обладает превосходной теплопроводностью, что позволяет нагревателю обеспечить равномерное распределение тепла в рабочей зоне и уменьшить температурные градиенты.

Обеспечить равномерное распределение тепла: Нагреватель с керамическим покрытием из карбида кремния использует высокую теплопроводность материала SiC для достижения равномерного распределения температуры по всей площади нагрева. Это имеет решающее значение для обеспечения равномерной термической обработки полупроводниковых пластин в различных высокотемпературных процессах, таких как быстрая термическая обработка (RTP), диффузия и окисление, избегая дефектов продукта, вызванных локальным перегревом или неравномерностью температуры.

Устойчивость к высоким температурам: Покрытие SiC позволяет нагревателю выдерживать чрезвычайно высокие температуры, обычно до 1600°C, что подходит для различных процессов высокотемпературной обработки.

Улучшить термостойкость: Поскольку покрытие выдерживает чрезвычайно высокие температуры, оно хорошо работает в процессах, требующих длительной работы при высоких температурах. Например, в процессах химического осаждения из паровой фазы (CVD) нагреватель керамического покрытия из карбида кремния может обеспечить долгосрочную стабильную работу оборудования при высоких температурах и поддерживать постоянные характеристики нагрева, тем самым улучшая повторяемость и надежность процесса.

Химическая коррозионная стойкость: Покрытие SiC обладает чрезвычайно высокой устойчивостью к кислотам, щелочам и агрессивным газам и может оставаться стабильным в течение длительного времени в сложной химической атмосфере, продлевая срок службы оборудования. 

Продление срока службы оборудования: Покрытие SiC обладает превосходной стойкостью к окислению и коррозии, а также эффективно противостоит химической эрозии и окислению при высоких температурах. Это очень важно в процессе производства полупроводников, особенно в среде, в которой присутствуют агрессивные газы и химические вещества. Защитное действие покрытия позволяет значительно продлить срок службы обогревателя, снизить частоту замены оборудования и затраты на его обслуживание.

Основные физические свойства нагревателя с керамическим покрытием из карбида кремния:

Магазины нагревателей с керамическим покрытием из карбида кремния ВеТек Полупроводник:

Обзор производственной цепочки VeTek по эпитаксии полупроводниковых чипов: