графитовый нагреватель с керамическим покрытием из карбида кремния

ВеТек Полупроводник Графитовый нагреватель из карбида кремния с керамическим покрытиемсочетает в себе превосходную электро- и теплопроводность графита с высокой термостойкостью, коррозионной стойкостью и износостойкостью кремний-углеродного керамического покрытия и предназначен для суровых условий производства полупроводников. 

Графитовый нагреватель с керамическим покрытием из карбида кремнияв основном используется в оборудовании для вакуумного нанесения покрытия (испарения), а обычно используются методы PCD (плазменно-химическая сушка) и PVD (физическое осаждение из паровой фазы). Этот продукт сыграл важную роль в содействии технологическому прогрессу и повышении эффективности производства в полупроводниковой промышленности.Мы искренне надеемся на дальнейшее сотрудничество с вами.

Материал и конструкционные особенности графитового нагревателя с керамическим покрытием из карбида кремния следующие::

Графитовая подложка: Графит известен своей высокой теплопроводностью и низким коэффициентом теплового расширения. Он может быстро реагировать на изменения температуры и сохранять структурную стабильность при высоких температурах.

Кремний-углерод-керамическое покрытие: Покрытие SiC равномерно наносится на поверхность графита посредством химического осаждения из паровой фазы или других передовых процессов. Карбид кремния обладает чрезвычайно высокой твердостью и стойкостью к химической коррозии, что позволяет защитить графитовую подложку от высокотемпературного окисления и агрессивных сред.

Специальная конструкция графитового нагревателя с керамическим покрытием из карбида кремния определяетнезаменимые преимущества этого продукта в процессе обработки полупроводников:

Эффективный и равномерный нагрев:

Теплопроводность: Высокая теплопроводность графита позволяет нагревателю быстро достигать и поддерживать необходимую температуру, а покрытие SiC обеспечивает равномерное распределение тепла. Это особенно важно для полупроводниковых процессов, требующих точного контроля температуры, таких как быстрая термическая обработка (RTP) и химическое осаждение из паровой фазы (CVD).

Равномерность температуры: Благодаря равномерному распределению тепла графитовый нагреватель с керамическим покрытием из карбида кремния может эффективно снизить тепловое напряжение и температурный градиент, обеспечивая однородность и стабильность качества полупроводниковых пластин на протяжении всего процесса нагрева.

Антикоррозийная защита:

Химическая стойкость: Устойчивость к химической коррозии покрытия SiC позволяет нагревателю стабильно и долго работать в агрессивных газовых и химических средах, избегая повреждения графитовой подложки. Эта особенность особенно важна в таких процессах, как химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением (PECVD).

Устойчивость к окислению: При высоких температурах покрытие SiC может предотвратить окисление графитовой подложки, продлить срок службы нагревателя, а также снизить частоту и стоимость обслуживания оборудования.

Уменьшите загрязнение частицами:

Стабильность поверхности: Покрытие SiC не только износостойкое, но и предотвращает падение частиц с поверхности материала в результате термоциклирования или химических реакций, тем самым снижая риск загрязнения частицами, которые могут возникнуть во время производства полупроводников, и обеспечивая высокую чистоту технологической среды.

Повышение надежности и эффективности процесса:

Долговечный дизайн: Благодаря сочетанию механической прочности графита и износостойкости покрытия SiC, графитовый нагреватель с керамическим покрытием из карбида кремния может поддерживать высокоэффективную работу в течение длительного времени в суровых технологических условиях, значительно повышая общую надежность оборудования.

Эффективное использование энергии: Высокая теплопроводность графита и высокотемпературная стабильность покрытия SiC позволяют нагревателю снизить потребление энергии, одновременно повышая точность контроля температуры, тем самым повышая общую эффективность производства полупроводников.

Основные физические свойстваГрафитовый нагреватель из карбида кремния с керамическим покрытием:

ВеТек ПолупроводникГрафитовый нагреватель из карбида кремния с керамическим покрытиеммагазины:

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов:

/другой-процесс